| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 마이크로 칼럼을 정의하는 트렌치를 갖는 베이스 기판; 및상기 마이크로 칼럼 내에 배치되며, 주기성을 가지며 3차원으로 연결된 기공들을 갖는 3차원 다공성 세라믹-고분자 복합체를 포함하고,상기 3차원 다공성 세라믹-고분자 복합체는, 3차원으로 배열된 나노 쉘 어레이를 형성하는 세라믹 나노구조체 및 상기 세라믹 나노구조체의 표면에 결합되며 폴리디메틸실록산, 폴리메틸페닐실록산 및 폴리메틸페닐시아노프로필실록산으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함하는 반응 활성화층을 포함하고,상기 3차원 다공성 세라믹-고분자 복합체의 두께는 10㎛ 내지 20㎛이고, 상기 3차원 다공성 세라믹-고분자 복합체의 칼럼 길이는 30cm 내지 70cm이고,상기 세라믹 나노구조체의 쉘 두께는 20nm 내지 60nm인, 가스 크로마토그래피용 마이크로 분별기. |
| 2 | 제1항에 있어서, 상기 세라믹 나노구조체는, Zn, Al, Ni, Mo, Co, Sn, Fe, W, Ti, Mn, Zr 및 Cu로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나의 산화물, 질화물 또는 황화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 크로마토그래피용 마이크로 분별기. |
| 3 | 삭제 |
| 4 | 제1항에 있어서, 상기 반응 활성화층은 꽃 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 가스 크로마토그래피용 마이크로 분별기. |
| 5 | 제1항에 있어서, 상기 베이스 기판과 결합하여 상기 마이크로 칼럼을 커버하는 커버 기판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 크로마토그래피용 마이크로 분별기. |
| 6 | 마이크로 칼럼을 정의하는 트렌치를 가지며, 상기 트렌치가 형성되지 않은 영역을 커버하는 희생층과 결합된 베이스 기판을 준비하는 단계;상기 트렌치 내에 3차원 다공성 주형을 형성하는 단계;상기 3차원 다공성 주형 내에 세라믹 소재를 제공하여 3차원으로 배열된 나노 쉘 어레이를 형성하는 세라믹 나노구조체를 형성하는 단계;상기 3차원 다공성 주형을 제거하는 단계;상기 3차원 다공성 주형을 제거한 후, 상기 희생층을 제거하여 상기 베이스 기판의 상면에서 상기 마이크로 칼럼 영역 외의 잔여물을 제거하는 단계;상기 베이스 기판과 커버 기판을 결합하는 단계;상기 베이스 기판의 마이크로 칼럼에 폴리디메틸실록산, 폴리메틸페닐실록산 및 폴리메틸페닐시아노프로필실록산으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 고분자 반응 활성화 물질 및 용매를 포함하는 고분자 용액을 제공하는 단계; 및상기 용매를 제거하여 상기 세라믹 나노구조체와 상기 고분자 반응 활성화 물질의 복합체를 형성하는 단계를 포함하고,상기 고분자 용액 내의 상기 고분자 반응 활성화 물질의 함량은 0.07wt% 내지 0.3wt%인 것을 특징으로 하는, 가스 크로마토그래피용 마이크로 분별기의 제조 방법. |
| 7 | 제6항에 있어서, 상기 세라믹 나노구조체는, Zn, Al, Ni, Mo, Co, Sn, Fe, W, Ti, Mn, Zr 및 Cu로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나의 산화물, 질화물 또는 황화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 크로마토그래피용 마이크로 분별기의 제조 방법. |
| 8 | 제7항에 있어서, 상기 세라믹 나노구조체는 원자층 증착을 통해 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 크로마토그래피용 마이크로 분별기의 제조 방법. |
| 9 | 삭제 |
| 10 | 삭제 |
| 11 | 삭제 |
| 12 | 제6항에 있어서, 상기 희생층은 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 크로마토그래피용 마이크로 분별기의 제조 방법. |
| 13 | 제6항에 있어서, 상기 희생층과 결합된 베이스 기판을 준비하는 단계는,상기 베이스 기판의 상면에 상기 희생층을 형성하는 단계; 및상기 희생층과 상기 베이스 기판을 부분적으로 제거하여 상기 트렌치를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 크로마토그래피용 마이크로 분별기의 제조 방법. |
| 14 | 제6항에 있어서, 상기 트렌치 내에 3차원 다공성 주형을 형성하는 단계는,상기 트렌치 내에 포토레지스트 필름을 형성하는 단계;상기 트렌치와 이격된 상기 베이스 기판의 하면에 위상 마스크를 배치하는 단계;상기 위상 마스크를 통해 상기 포토레지스트 필름에 광을 조사하는 단계; 및상기 노광된 포토레지스트 필름을 현상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 크로마토그래피용 마이크로 분별기의 제조 방법. |
| 15 | 제6항에 있어서, 상기 세라믹 나노구조체의 두께는 10㎛ 내지 20㎛이고, 상기 세라믹 나노구조체의 칼럼 길이는 30cm 내지 70cm이고, 상기 세라믹 나노구조체의 쉘 두께는 20nm 내지 60nm인 것을 특징으로 하는 가스 크로마토그래피용 마이크로 분별기의 제조 방법. |
| 16 | 제1항의 가스 크로마토그래피용 마이크로 분별기의 마이크로 칼럼에 기체 혼합물을 제공하는 단계를 포함하며, 상기 기체 혼합물은 마약류를 포함하는 것을 특징으로 하는 기체 분별 방법. |
