광이 통과하도록 설정된 직선 형태의 광 도파로;광이 통과하도록 설정되고, 상기 광 도파로가 위치한 평면과 평행한 방향으로 상기 광 도파로에서 이격하여 위치하는 제1 루프(loop) 공진기;적어도 일부가 상기 제1 루프 공진기와 이격하여 위치하는 제1 멤브레인; 및상기 광 도파로의 일단으로 광을 입사시키는 광 송신부를 포함하고,상기 제1 멤브레인은 상기 광 도파로에서 먼 방향인 상기 제1 멤브레인의 일단을 축으로 하는 외팔 구조를 가지고, 외부의 음압에 의 하여 상기 제1 멤브레인이 일단을 축으로 진동하여 상기 제1 멤브레인의 적어도 일부가 상기 제1 루프 공진기와 이격 거리가 변화하고,상기 제1 멤브레인의 적어도 일부는 상기 평면에서 수직한 방향으로 상기 제1 루프 공진기와 이격하여 위치하고,상기 평면으로부터 수직한 방향에서 볼 때, 상기 제1 멤브레인의 적어도 일부는 상기 제1 루프 공진기의 적어도 일부와 중첩되고,상기 제1 멤브레인은 상기 제1 멤브레인의 일단을 축으로 하는 진동에 따라 상기 제1 루프 공진기와 상기 평면에서 수직한 방향의 이격 거리가 변화하며,상기 제1 멤브레인은,상기 평면에서 수직한 방향으로 상기 제1 루프 공진기와 이격하여 위치하는 위상 이동기(phase shifter); 및캔틸레버의 적어도 일부가 상기 제1 루프 공진기의 상부면보다 낮은 높이에 형성된 상기 캔틸레버를 포함하는,초음파 센서.

제1 항에 있어서,상기 광 도파로의 일단으로 입사된 광의 스펙트럼 일부는 상기 제1 루프 공진기로 전파되고, 상기 제1 멤브레인은 상기 광 도파로의 일단으로 입사된 광이 전파되지 않도록 상기 광 도파로와 이격되어 위치하는,초음파 센서.

제1 항에 있어서,상기 제1 멤브레인의 상기 일단의 반대 방향의 타단은 소정의 이격 거리를 가지면서 상기 제1 루프 공진기의 둘레의 적어도 일부를 따르는 형태인,초음파 센서.

삭제

삭제

제1 항에 있어서, 상기 위상 이동기 및 상기 캔틸레버는 상기 평면에서 수직한 방향으로 서로 두께가 다른,초음파 센서.

제1 항에 있어서, 상기 위상 이동기 및 상기 캔틸레버는 광 손실(optical loss), 굴절률(refractive index), 탄성(elasticity), 광 분산(optical dispersion), 점성(viscosity) 또는 밀도(density) 중 어느 하나가 서로 다른 물질로 구성되는,초음파 센서.

제1 항에 있어서, 상기 위상 이동기 및 상기 캔틸레버는 각각 상기 평면에서 수직한 방향에서 볼 때 소정의 면적을 가지는 제1 면 및 제2 면을 가지고, 상기 위상 이동기의 상기 제1 면 및 상기 캔틸레버의 상기 제2 면은 기하학적 형태(geometrical shape)가 서로 다른,초음파 센서.

제1 항에 있어서, 상기 상기 캔틸레버는 상기 평면에서 수직한 방향에서 볼 때 소정의 면적을 가지고, 상기 평면을 기준으로 상기 상기 캔틸레버의 상부 공간과 하부 공간을 연통시키는 복수의 관통 구조를 포함하는,초음파 센서.

제1 항에 있어서,상기 평면의 적어도 일부는 함몰된 함몰부 또는 상기 평면의 상부 공간과 하부 공간을 연통 시키는 관통 구조인 공동부(cavity)를 포함하고,상기 제1 멤브레인은 상기 함몰부 또는 상기 공동부에서 외부의 음압에 의하여 상기 제1 멤브레인의 일단을 축으로 하여 진동하도록 설정된,초음파 센서.

제1 항에 있어서,광이 통과하도록 설정되고, 상기 광 도파로가 위치한 상기 평면과 평행한 방향으로 상기 광 도파로 및 상기 제1 루프 공진기에서 이격하여 위치하는 제2 루프 공진기; 및적어도 일부가 상기 제2 루프 공진기와 이격하여 위치하는 제2 멤브레인을 더 포함하고, 상기 제2 멤브레인은 상기 광 도파로에서 먼 방향인 상기 제2 멤브레인의 일단을 축으로 하는 외팔 구조를 가지고, 외부의 음압에 의 하여 상기 제2 멤브레인이 일단을 축으로 진동하여 상기 제2 멤브레인의 적어도 일부가 상기 제1 루프 공진기와 이격 거리가 변화하는,초음파 센서.

제11 항에 있어서,상기 제2 루프 공진기의 둘레 길이는 상기 제1 루프 공진기의 둘레 길이와 서로 다른,초음파 센서.

제11 항에 있어서,미리 설정된 제1 파장 및 제2 파장에서 상기 광 도파로의 타단에서 출사하는 광의 세기 변화를 측정하는 광 수신부를 더 포함하고, 상기 제1 파장 및 제2 파장은 서로 다른,초음파 센서.

제11 항에 있어서,상기 평면으로부터 수직한 방향에서 볼 때 상기 제1 멤브레인이 상기 제1 루프 공진기와 중첩되는 제1 부분 및 상기 제2 멤브레인이 상기 제2 루프 공진기와 중첩되는 제2 부분은, 상기 평면을 기준으로 상기 제1 멤브레인 및 상기 제2 멤브레인의 상부 공간과 하부 공간을 연통시키는 복수의 관통 구조를 포함하는,초음파 센서.

제14 항에 있어서,상기 제1 부분 및 상기 제2 부분의 관통 구조는 기하학적 구조가 서로 다른,초음파 센서.

제15 항에 있어서,상기 제1 부분 및 상기 제2 부분의 관통 구조는 서로 관통 구조의 지름 또는 관통 구조의 개수 중 어느 하나가 서로 다른,초음파 센서.

제1 항에 있어서,상기 제1 루프 공진기는 상기 평면에 접하지 않은 적어도 3개의 면을 포함하고,외부의 음압에 의하여, 상기 제1 멤브레인은 상기 제1 루프 공진기의 상기 평면에 접하지 않은 면들 중 적어도 3개의 면과 이격 거리가 변화하면서 진동하는,초음파 센서.

삭제

삭제

삭제