제 1 항에 있어서,상기 적어도 하나 이상의 마이크로유로 채널은 상기 방사선 흡수체가 채워진 상태에서 봉입된 것인,방사선 흡수체를 집적한 방사선량계.

기판;온도변화를 측정할 수 있도록 상기 기판 상에 형성된 적어도 하나 이상의 서미스터(thermistor);상기 기판 상에 형성되며, 방사선 흡수물질을 채울 수 있는 적어도 하나 이상의 마이크로유로 채널(microfluidic channel)을 구비하는 박막부; 및방사선을 흡수하여 온도가 변하며, 상기 적어도 하나 이상의 마이크로유로 채널 내에 채워짐으로써 상기 서미스터 상에 배치되는 방사선 흡수체;를 포함하는,방사선 흡수체를 집적한 방사선량계.

제 1 항에 있어서,상기 박막부는 제 1 박막부와 적어도 하나 이상의 홈부를 구비하는 제 2 박막부를 포함하며, 상기 제 1 박막부와 상기 제 2 박막부가 서로 접합되어 일체형으로 형성됨으로써, 상기 방사선 흡수체를 채울 수 있는 내부공간을 한정하는,방사선 흡수체를 집적한 방사선량계.

제 1 항에 있어서,상기 방사선 흡수체는 물(H2O) 또는 조직등가물질(tissue equivalent material)을 포함하고,멤스(MEMS) 기술을 이용하여 상기 기판, 상기 서미스터 및 상기 서미스터에 전기적으로 연결된 전극을 모두 덮도록 상기 적어도 하나 이상의 마이크로유로 채널을 구비하는 박막부를 형성하고,상기 적어도 하나 이상의 마이크로유로 채널 내에 상기 물 또는 조직등가물질을 채움으로써 상기 기판 상에 집적되는, 방사선 흡수체를 집적한 방사선량계.

제 1 항에 있어서,상기 적어도 하나 이상의 마이크로유로 채널은 상기 적어도 하나 이상의 서미스터에 각각 대응되는 위치에 형성되는,방사선 흡수체를 집적한 방사선량계.

제 1 항에 있어서,다방향으로부터 입사되는 상기 방사선을 수광하기 위해 상기 기판의 일단만 고정되어 상기 박막부의 적어도 일부가 휘어진 구조를 갖는,방사선 흡수체를 집적한 방사선량계.

제 1 기판과 제 2 기판을 각각 준비하는 단계;온도변화를 측정할 수 있도록 상기 제 1 기판 상에 적어도 하나 이상의 서미스터(thermistor)를 형성하는 단계;상기 적어도 하나 이상의 서미스터와 상기 제 1 기판 상에 제 1 박막부를 형성하는 단계;적어도 하나 이상의 홈부를 구비하는 제 2 박막부를 상기 제 2 기판 상에 형성하는 단계;상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 서로 본딩(bonding)함으로써 적어도 하나 이상의 마이크로유로 채널(microfluidic channel)을 형성하는 단계; 및상기 마이크로유로 채널 내에 방사선을 흡수하여 온도가 변하는 방사선 흡수체를 채움으로써, 상기 서미스터 상에 상기 방사선 흡수체를 배치하는 단계;를 포함하는,방사선 흡수체를 집적한 방사선량계의 제조방법.

제 7 항에 있어서,상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판은 상기 적어도 하나 이상의 서미스터(thermistor)와 상기 적어도 하나 이상의 홈부가 서로 마주보도록 배치되며, 상기 적어도 하나 이상의 서미스터와 상기 적어도 하나 이상의 홈부는 서로 대응되도록 정렬되는,방사선 흡수체를 집적한 방사선량계의 제조방법.

제 7 항에 있어서,상기 적어도 하나 이상의 마이크로유로 채널을 형성하는 단계는,상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판이 서로 접합될 수 있도록, 상기 제 1 박막부의 상면 상에 제 1 접합층을 형성하고, 상기 제 2 박막부의 상면 상에 제 2 접합층을 형성하는,방사선 흡수체를 집적한 방사선량계의 제조방법.

제 7 항에 있어서,상기 방사선 흡수체를 배치하는 단계 이후에 상기 마이크로유로 채널의 적어도 어느 일단을 봉입하는 단계를 포함하는,방사선 흡수체를 집적한 방사선량계의 제조방법.

제 7 항에 있어서,상기 적어도 하나 이상의 마이크로유로 채널을 형성하는 단계 이후에, 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판의 적어도 일부를 제거하는 단계를 수행하는,방사선 흡수체를 집적한 방사선량계의 제조방법.