제3항에 있어서, 상기 금속은 Ni, Cu, Zn, Au 및 이들의 합금으로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 제조방법.

제1항에 있어서, 상기 단백질은 펩타이드, 폴리펩타이드, 효소, 항원 및 항체로 구성된 군에서 선택되는 하나 이상인 것을 특징으로 하는 제조방법.

제1항에 있어서, 상기 금속 박막의 두께는 10~100nm인 것을 특징으로 하는 제조방법.

제1항에 있어서, 상기 (c)단계에서 미세유체 채널(microfluidic channel)을 금속 격자패턴에 수직 방향으로 부착시켜 단백질을 주입시키는 것은 특징으로 하는 방법.

다음의 단계를 포함하는, 금속-단백질 격자패턴 바이오칩의 제조방법: (a) 고분자로 제조된 광학 프리즘(prism) 또는 유리기판에 금속 박막을 증착시키는 단계; (b) 격자패턴을 가지는 미세유체 채널(microfluidic channel)을 상기 금속 박막에 부착한 뒤, 화학적 에칭(chemical etching)하여, 금속 격자패턴을 제작하는 단계; 및 (c) 상기 금속 격자패턴에 수직 방향으로 단백질을 주입·고정하는 단계.

제1항에 있어서, 상기 고분자는 PDMS(polydimethylsiloxane), PS(polystyrene), PMMA(polymethylmetaacrylate) 및 PET(polyethylen terephthalate)로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 제조방법.

제1항에 있어서, 상기 금속은 SPR(Surface Plasmon Resonance) 광학 특성 및 특정 단백질과 특이적 결합을 하는 특성을 동시에 가지는 것을 특징으로 하는 제조방법.

다음의 단계를 포함하는, 금속-단백질 격자패턴 바이오칩의 제조방법: (a) 고분자로 제조된 광학 프리즘 또는 유리기판에 광절개성(photocleavable) 물질 또는 광반응성 물질을 코팅시키는 단계; (b) 격자패턴을 가지는 포토마스크(photomask)를 이용하여 포토패터닝(photopatterning) 방법으로 격자패턴을 형성하는 단계; (c) 상기 격자패턴 내에 금속 나노 물질을 고정시켜 금속 격자패턴을 제작하는 단계; 및 (d) 상기 금속 격자패턴에 수직 방향으로 단백질을 주입·고정하는 단계.

제7항에 있어서, 상기 고분자는 PDMA, PS, PMMA 및 PET로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 제조방법.

제8항에 있어서, 상기 금속은 SPR(Surface Plasmon Resonance) 광학 특성 및 특정 단백질과 특이적 결합을 하는 특성을 동시에 가지는 것을 특징으로 하는 제조방법.

제10항에 있어서, 상기 금속은 Ni, Cu, Zn 및 Au로 구성된 군에서 선택되는 어느 하나, 이들의 합금 및 혼합물로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 제조방법.

제8항에 있어서, 상기 단백질은 펩타이드, 폴리펩타이드, 효소, 항원 및 항체로 구성된 군에서 선택되는 하나 이상인 것을 특징으로 하는 제조방법.

제8항에 있어서, 상기 광절개성 물질 또는 광반응성 물질은 NVOC-(6-nitoveratryloxycarbonyl-), TBOC-(t-butoxycarbonyl-), DDZ(α, α-dimethyl-dimethoxybenzyloxycarbonyl), 5-bromo-7-nitroindolinyl, o-hyrdoxy-2-methyl cinnamoyl, 2-oxymethylene anthraquinone, 및 NBOC-(2-nitobenzyloxycarbonyl-)으로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 제조방법.

제7항에 있어서, 상기 (c)단계에서 미세유체 채널(microfluidic channel)을 금속 격자패턴에 수직 방향으로 부착시켜 단백질을 주입시키는 것은 특징으로 하는 방법.

제1항 내지 제14항 중 어느 한 항의 제조방법으로 제조된, SPR(Surface Plasmon Resonance) 광학 특성 및 특정 단백질과 특이적 결합을 하는 특성을 동시에 가지는 금속 격자패턴에 단백질이 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 금속-단백질 격자패턴 바이오칩.

제15항의 금속-단백질 격자패턴 바이오칩에 바이오 리셉터가 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 광학분석용 바이오센서.

제16항에 있어서, 상기 바이오 리셉터는 핵산, 펩타이드, 단백질, 리간드, 항원, 및 항체로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 광학분석용 바이오센서.

제16항에 있어서, 상기 바이오 리셉터는 미세유체채널 또는 친화성 태그물질을 이용하여 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 광학분석용 바이오센서.

제18항에 있어서, 상기 친화성 태그물질은 Ni-NTA(nickel-nitrilotriacetic acid), Streptavidin, β-Galactosidase, Protein A, Polyphenylalanine, Polyalanine, 및 GST(Glutathione S-Transferase)로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 광학분석용 바이오센서.

제16항의 광학분석용 바이오센서를 이용한, 바이오 리셉터와 결합 또는 반응하는 표적 바이오 물질의 검출방법.

다음의 단계를 포함하는 금속 격자패턴-핵산 복합체를 포함하는 핵산칩의 제조방법: (a) 고분자로 제조된 광학 프리즘(prism) 또는 유리기판에 금속 박막을 증착시키고, 상기 증착된 금속 박막에 격자패턴을 가지는 미세유체 채널을 부착시킨 다음, 화학적 에칭하여 금속 박막에 격자패턴을 형성하는 단계; (b) 상기 격자패턴이 형성된 금속 박막에 핵산을 반응시켜 금속 격자패턴-핵산 복합체를 제조하는 단계; 및 (c) 아민(amine) 또는 라이신(lysin)기가 부착된 기질에 상기 금속 격자패턴-핵산 복합체를 고정시켜, 금속 격자패턴을 포함하는 핵산칩을 제조하는 단계.

제21항에 있어서, 상기 금속은 SPR(Surface Plasmon Resonance) 광학 특성 및 특정 단백질과 특이적 결합을 하는 특성을 동시에 가지는 것을 특징으로 하는 제조방법.

제21항의 방법으로 제조된, SPR(Surface Plasmon Resonance) 광학 특성 및 특정 단백질과 특이적 결합을 하는 특성을 동시에 가지는 금속 격자패턴-핵산 복합체를 포함하는 핵산칩.

제23항의 금속 격자패턴-핵산 복합체를 포함하는 핵산칩을 이용하는 것을 특징으로 하는 DNA 혼성화 반응의 검출방법.

다음의 단계를 포함하는 금속 격자패턴-효소 복합체를 포함하는 단백질칩의 제조방법: (a) 고분자로 제조된 광학 프리즘(prism) 또는 유리기판에 금속 박막을 증착시키고, 상기 증착된 금속 박막에 격자패턴을 가지는 미세유체 채널을 부착시킨 다음, 화학적 에칭하여 금속 박막에 격자패턴을 형성하는 단계; (b) 상기 격자패턴이 형성된 금속 박막에 효소를 반응시켜 금속 격자패턴-효소 복합체를 제조하는 단계; 및 (c) 아민(amine) 또는 라이신(lysin)기가 부착된 또는 친화성 태그로 수식화된 기질에 상기 금속 격자패턴-효소 복합체를 고정시켜, 금속 격자패턴을 포함하는 단백질칩을 제조하는 단계.

제25항에 있어서, 상기 금속은 SPR(Surface Plasmon Resonance) 광학 특성 및 특정 단백질과 특이적 결합을 하는 특성을 동시에 가지는 것을 특징으로 하는 제조방법.

제25항의 방법으로 제조된, SPR(Surface Plasmon Resonance) 광학 특성 및 특정 단백질과 특이적 결합을 하는 특성을 동시에 가지는 금속 격자패턴-효소 복합체를 포함하는 단백질칩.

제27항의 SPR(Surface Plasmon Resonance) 광학 특성 및 특정 단백질과 특이적 결합을 하는 특성을 동시에 가지는 금속 격자패턴-효소 복합체를 포함하는 단백질칩을 이용하는 것을 특징으로 하는 효소 반응의 검출방법.

다음의 단계를 포함하는 금속 격자패턴-항원 또는 금속 격자패턴-항체를 포함하는 단백질칩의 제조방법: (a) 고분자로 제조된 광학 프리즘(prism) 또는 유리기판에 금속 박막을 증착시키고, 상기 증착된 금속 박막에 격자패턴을 가지는 미세유체 채널을 부착시킨 다음, 화학적 에칭하여 금속 박막에 격자패턴을 형성하는 단계; (b) 상기 격자패턴이 형성된 금속 박막에 항원 또는 항체를 반응시켜 금속 격자패턴-항원 복합체 또는 금속 격자패턴-항체 복합체를 제조하는 단계; 및 (c) 아민(amine) 또는 라이신(lysin)기가 부착된 또는 친화성 태그로 수식화된 기질에 상기 금속 격자패턴-항원 복합체 또는 금속 격자패턴-항체 복합체를 고정시켜, 금속 격자패턴을 포함하는 단백질칩을 제조하는 단계.

제29항에 있어서, 상기 금속은 SPR(Surface Plasmon Resonance) 광학 특성 및 특정 단백질과 특이적 결합을 하는 특성을 동시에 가지는 것을 특징으로 하는 제조방법.

제29항의 방법으로 제조된, SPR(Surface Plasmon Resonance) 광학 특성 및 특정 단백질과 특이적 결합을 하는 특성을 동시에 가지는 금속 격자패턴-항원 복합체 또는 금속 격자패턴-항체 복합체를 포함하는 단백질칩.

제31항의 SPR(Surface Plasmon Resonance) 광학 특성 및 특정 단백질과 특이적 결합을 하는 특성을 동시에 가지는 금속 격자패턴-항원 복합체 또는 금속 격자패턴-항체 복합체를 포함하는 단백질칩을 이용하는 것을 특징으로 하는 항원-항체 반응의 검출방법.