프로젝트 소개
본 과제는 빛 에너지를 통해 활성화되는 세라믹 소재를 사용하여, 상온에서도 여러 종류의 가스를 동시에 감지할 수 있는 고성능 가스센서 기술을 개발하는 연구임.
연구 목표는 신뢰성 있는 UV-LED 기반의 3종 이상 다종가스 감지용 센서 패키지 및 모듈을 제작하고, 감지재 구조 및 UV-LED 특성 최적화를 통해 가스 선택성을 높이는 데 있음. 또한, 간접천이형 감지재 복합구조 센서와 최적화된 Array 소자 및 SoC 소자 제작 및 특성 평가를 포함함. 핵심 연구 내용은 UV-LED 기반 일체형 다종가스 감지 센서 패키지 제작으로 감지 특성과 가스 선택성을 확보하고 신뢰성을 높이는 것임. 이를 위해 반응 가스에 따른 UV-LED 집적 제작 기술과 고감도, 고선택성 자외선 활성화 센서 감지재를 개발하여 sub-ppm 수준의 저농도 가스 감지를 실현함. 더불어, 각 가스별 최적 조건의 Array 소자 및 SoC 소자 제작 기술 개발 및 성능 극대화에 주력함. 기대 효과는 감지재, UV-LED 광학적 특성 및 패키지, AAO 기판 특성 등을 최적화하여 가스센서 성능을 극대화함. 이를 통해 3종 이상의 상온 가스센서 구현 및 신뢰성 확보가 가능하며, 개발된 소자의 패키지 및 모듈 특성 평가에 활용될 것으로 전망됨.