프로젝트 소개
본 과제는 디스플레이용 필름에 자외선 차단, 수분·산소 차단, 전기 전도 기능을 동시에 부여하고 이를 빠르게 생산하는 기술을 개발하는 연구임. Spatial PEALD는 넓은 필름 위에 원자층 단위의 얇은 막을 연속적으로 쌓는 장비 및 공정 기술임.
연구 목표는 500 mm 폭의 R2R Type 고속 Spatial PEALD 장비와 전도성 배리어 필름을 개발해 사업화하는 데 있음. 핵심 연구 내용은 Precursor 챔버 분리, 고밀도 Ionized Plasma 에너지 제어, 25 cycle/min 증착속도 및 파티클 10 ea 이하의 장비 구현임. 또한 DBR 기반 UV 차단 배리어, ALD 금속 초박막, 주기적 도핑을 적용한 비정질 전도성 산화막을 적층하고, 90% 이상의 광투과도와 10Ω/sq 수준의 면저항을 갖는 다층구조를 최적화함. 기대 효과는 OLED의 고효율·고수명화, 제조 공정 단축, R2R spatial ALD 장비 및 필름 국산화, 반도체·배터리·바이오 분야로의 적용 확대와 수출 및 신규 일자리 창출임.