프로젝트 소개
본 과제는 플라즈마 밀도를 랭뮤어 프로브처럼 전류만 간접 측정하는 한계를 줄이고, 플라즈마 전체 밀도와 함수 관계를 갖는 물리량을 더 직접 진단하는 연구임.
연구 목표는 전류 측정 방식의 한계를 벗어나 플라즈마 밀도와 연계된 물리량을 직접 측정하는 진단 체계를 구축하는 데 있음. 핵심 연구 내용은 Poisson equation, energy equation, continuity equation 기반 1차원 플라즈마 시뮬레이션 code 개발, 압전소자 박막 증착 전극의 진공 챔버 설계 및 CVD 증착 조건 최적화, 가변 Frequency 전원 회로 제작, 최적 전극 구조 및 전극 간격 제시와 전압 변화를 통한 플라즈마 밀도·압력 모델 제시임. 기대 효과는 바이오·의료 등 정확한 재현성이 필요한 분야의 플라즈마 진단 기술 적용과 인력 양성, 기술 이전 및 수출 기여임.