프로젝트 소개
본 과제는 다양한 N 농도의 우수한 TiON 박막을 상온에서 제작해 열반사판 유리 및 광촉매 소재로 활용 가능성을 확인하는 연구임.
연구 목표는 vacancy 농도가 높은 티타늄 산화막을 시작 물질로, 비평형 산화/질화 플라즈마 공정을 통해 반응 활성도를 높이되 최적화된 플라즈마 에너지로 불필요한 결정 결함을 줄이는 데 있음. 핵심 연구 내용은 Ti 타겟 스퍼터링으로 상온 유리 기판에 TiO 박막을 성장하고, O/Ar 가스 흐름율과 플라즈마 파워로 플라즈마 species의 에너지 분포를 조절해 TixOy→TiON 박막으로 형성하며 TiON/TiO 이중 박막 구조를 연구하는 점임. 기대효과는 heat mirror 성능 개선 및 광촉매로서 신재생 에너지·청정 환경 응용 확장 가능성임.