프로젝트 소개
본 과제는 위성체 광학계와 고성능 전력반도체처럼 정밀한 운전온도 제어가 필요한 소자에 대해, 기계 구동 기반 압력제어 방식의 고속·정밀 온도제어기술을 개발하는 연구임.
연구 목표는 가변 체적형 기계 구동식 압력제어기(mechanically-driven pressure controller, MDPC)와 밀폐형 압력제어식 루프 히트 파이프(pressure-controlled loop heat pipe, PCLHP)를 통해 운전온도를 0.01 ℃(10 mK) 이내로 제어하는 기술 확립에 있음. 연구 내용은 bellows 구조 MDPC 개발, MDPC 통합 밀폐형 PCLHP 제작, 제어기체(He) 압력 변화에 따른 불안정성·천이 특성 시험 및 다단형 MDPC의 압력제어 알고리듬, 계단형 온도제어 시험 수행에 있음. 기대 효과는 등온영역 온도의 고속·정밀 제어 실현과 반도체 공정·신뢰성 시험, 초정밀 측정 등 기반기술로의 활용성 확대에 있음.