프로젝트 소개
본 과제는 회전과 이동이 동시에 되는 마이크로액추에이터 모듈을 설계·제어해 소형·정밀·안정성을 확보하는 연구임.
연구 목표는 회전운동(Rz, Tx, Ty)과 수직이동(Dz)을 동시에 구현하는 신개념 액추에이터의 이론체계 및 기술체계를 정립하는 데 있음. 핵심 연구 내용은 z축 회전운동 Rz와 x축·y축 각운동 Tx, Ty, z축 수직이동 Dz를 각각 회전액추에이터, 4면 굽힘액추에이터, 센서 겸용 커패시터 액추에이터(틸팅액추에이터)로 구현하고 회전자의 진동·기울어짐 보상과 회전각 센서 융합, 구동·센싱 융합 고정밀 피드백제어 시스템 설계를 수행하는 것임. 기대 효과는 소형·저전력·안정성 및 증대된 운동자유도를 달성하고 마이크로 자동화 기기, 의생명 기기, 초정밀 계측, 광학 기기 등 첨단 장비 핵심 부품 활용에 기여하는 데 있음.