1~10THz대역 나노소재 기반 2D 어레이 이미지 센서 모듈 개발

2016산업통상자원부나노융합산업핵심기술개발
프로젝트 소개
본 과제는 1~10 THz 대역용 이미지센서를 개발해 160x1 및 160x120 THz 영상을 포착하는 무인 검사용 THz 카메라 모듈 기반기술을 확보하는 연구임. 연구목표는 160x1 획득장치, ACNB 최적화 어레이 셀 및 ACNB 160x120 2D-Array Surface-Micromachining 공정, ACNB용 ROIC 설계, VO2 나노와이어 기반 단위 셀 구현, THz 센서/카메라 평가시스템 구축임. 핵심연구내용은 ACNB 전자기-구조-공정 최적화, 제조 공정/Reticle 설계, 2D 어레이 특성평가 및 VO2 선택 성장 최적화임. 기대효과는 고감도 초소형 THz 카메라 모듈 및 인체 유해성이 적은 비파괴 내부 검사 기술 확보로 보안·의료·국방 등 산업 확장 효과임.
테라헤르츠 이미지 센서테라헤르츠 카메라나노광학센서안테나 결합형 볼로미터미세전기기계시스템terahertz image sensorterahertz cameranano photonic sensorantenna coupled bolometerMEMS(MicroElectroMechanical systems)
참여형태
협동
사업명
나노융합산업핵심기술개발
부처명
산업통상자원부
주관기관명
나노융합산업연구조합
협동수행기관명
소모에너지엔테크놀러지, 주식회사 마인즈아이
공동/위탁수행기관명
전자부품연구원, 한국광기술원, 세종대학
과제 수행연도
2016
과제 수행기간
2015.06.01 ~ 2019.09.30
과제 고유번호
1415149123
연구 개발단계
개발연구
연구비
총연구비
1,304,000,000 원
정부지원연구개발비
1,095,000,000 원
위탁연구비
0 원
민간연구비
209,000,000 원
주관/협동기관 정보
주관/협동수행기관명연구수행주체지역
주관나노융합산업연구조합기타경기도
협동소모에너지엔테크놀러지중견기업서울특별시
협동주식회사 마인즈아이중소기업경기도
공동/위탁기관 정보3건
공동/위탁수행기관명연구수행주체참여형태공동연구비 수입금액 (원)공동연구비 지출금액 (원)
공동전자부품연구원기타연구·기술개발-545,000,000
공동한국광기술원기타연구·기술개발-185,000,000
공동세종대학대학연구·기술개발-80,000,000
과제 기반 국내외 특허0건
출원/등록 기관발명의 명칭출원일자출원국가출원번호등록일자등록번호
과제 기반 SCI(E) 논문0건
논문명학술지명DOI/URL