프로젝트 소개
본 과제는 플라즈마 진단에서 랭뮤어 프로브가 측정기기가 플라즈마에 영향을 주는 한계와 중성입자·이온 밀도 추정의 간접성 문제를 줄이기 위한 연구임.
연구 목표는 플라즈마 전체의 밀도와 함수 관계를 가지는 물리량을 더 직접적으로 측정하는 진단 방식 확립에 있음. 핵심 연구 내용은 Poisson equation, energy equation, continuity equation 기반 1차원 플라즈마 simulation code 개발, 압전소자를 박막 증착한 전극을 위한 진공 챔버 설계 및 CVD 최적 조건 산정, 기본 전원 구동 회로와 가변 주파수 회로 제작 및 압전소자 전압으로 플라즈마 밀도·압력 변화를 분석해 최적 전극 구조·전극 간격 및 최종 모델 제시임. 기대 효과는 바이오/의료 플라즈마 등 응용의 정밀 재현성 향상과 압전소자 국가 핵심요소 기술 및 인력·기술이전 기반의 산업 기여에 있음.