프로젝트 소개
본 과제는 전이금속 디칼코게나이드계 다원화합물 이차원 소재를 Si 기판에 MOCVD로 직접 증착하고, 이를 바탕으로 차세대 저전력·고성능 전자소자를 개발하는 연구임.
연구 목표는 MX2xX´2(x-1), M2xM´2(x-1)X 소재의 최적 성장 조건 도출, 삽입형 도핑·상변환·밴드갭 제어를 통한 전기적 특성 향상, 나노구조 기반 소자 설계에 있음. 핵심 연구 내용은 설계-성장-물성평가-분석 체계 구축, 대면적·고균일 MOCVD 성장, 광학적·전기적 특성 분석, High-K 절연체 및 Negative capacitor 적용임. 기대 효과는 µ>100 ㎝2/V·s, SS<30 mV/dec 수준의 소재 후보군 확보와 원천특허 확보, 국내 이차원 소재 및 차세대 전자소자 경쟁력 강화에 있음.