프로젝트 소개
본 과제는 물체를 곧고 정확하게 이동시키는 정밀 진직 구동 장치의 움직임 오차를 실시간으로 측정하고 줄이는 기술을 개발하는 연구임. 주변 온도 변화나 외부 진동과 같은 환경 변화에도 안정적으로 작동하며, 온머신시스템과 대형시스템에 적용 가능한 고정밀 이송 기술 확보를 지향함.
연구 목표는 다자유도 시스템오차운동과 랜덤오차운동을 정밀하게 측정하고, 측정 결과를 바탕으로 실시간 보상제어를 수행하는 고정밀 진직구동기술 확보에 있음. 핵심 연구 내용은 멀티프로브 오차분리법 기반 2자유도 및 5자유도 오차운동 측정 기술, 오차 성분별 분리 및 보상량 산출 소프트웨어, 5자유도 정밀 자세미조정부와 미세구동 스테이지의 통합 설계·제작, 시스템 시험 및 평가임. 이를 통해 계통 오차운동 90%, 랜덤 오차운동 80% 이상 제거를 목표로 함. 기대 효과는 반도체, 정밀 가공, 대형 터빈 및 대형 샤프트의 제작·검사 장비에 활용 가능한 초정밀 이송장치 구현, 고가 해외 장비의 국산화, 정밀 측정 장비의 정확도 향상과 저가화, 관련 기업의 기술 경쟁력 및 전문 인력 양성임.
정밀 진직 이송 시스템정밀 위치 제어 기술다자유도 오차운동 보상제어기술랜덤오차 제거 기술다자유도 멀티Precision linear driving systemPrecision positioning control technologyMulti-DOF error motion compensating control techniqueRandom error eliminating techniqueMulti-DOF multi-probe error separation techniqueReal-time automation measurementcompensation