프로젝트 소개
본 과제는 반도체 제조 공정 등에서 사용되는 고출력 F Cl계 플라즈마 환경에 대응하기 위해, 대형 부품의 손상을 막는 새로운 플라즈마 저항성 세라믹 코팅 소재와 이를 적용하는 공정 기술을 개발하는 연구임. 이는 부품의 수명을 늘리고 성능을 향상시키는 데 목적이 있음.
연구 목표는 PVD 공정 기술을 적용한 4세대 PERC 사업화 역량 확보 및 4, 5세대 PERC 소재 공정 기술 확보에 있음. MgO계 및 신조성 PERC 후보 소재의 내플라즈마 특성 평가와 DB 구축을 통해 4세대 PERC 소재 최적 조성 확정 및 5세대 PERC 소재 조성 설계를 최종 목표로 함. 핵심 연구 내용은 주관기관인 (주)그린리소스의 4세대 PERC 대면적 PVD 코팅 사업화 역량 확보 및 5세대 PERC 소재 제조 기술 개발임. 재료연구소는 차세대 PERC 소재 PVD 공정 기술을 최적화하고 개발하며, 전자부품연구원은 후보 소재의 내플라즈마 특성 평가 및 DB 구축을 담당함. 서울대학교는 4세대 PERC 소재 조성 최적화 및 5세대 PERC 소재 조성을 설계함. 기대 효과는 신규 조성 설계를 통한 소재 특허권 확보, 고밀도 후막 세라믹 코팅용 PVD 공정 기술 확립, 그리고 차세대 내플라즈마 기술 사업화 기반 확보에 있음.