프로젝트 소개
본 과제는 위성체 광학계·고성능 전력반도체 등 정밀 온도제어가 필요한 소자의 운전온도를 0.01 ℃(10 mK) 이내로 고속·정밀 제어하는 기계 구동 압력제어식 온도제어기술 개발 연구임.
연구 목표는 2상유체저장소 개방에 따른 불안정성과 고압가스 실린더·진공펌프 등 복잡성을 줄이기 위해 가변 체적형 기계 구동식 압력제어기와 압력제어식 루프 히트 파이프(PCLHP)를 밀폐형으로 확립하는 데 있음. 연구 내용은 벨로즈 구조 MDPC 및 밀폐형 PCLHP 제작, MDPC 제어기체(He) 압력변화에 따른 운전 불안정성·천이 특성 시험, 최적 선형구동 조건 도출, 다단형 MDPC의 대량 압력제어 알고리듬 및 계단형 온도제어 시험 수행임. 기대 효과는 등온영역 온도의 균일화와 고속·정밀 제어 실현으로 반도체 제조·신뢰성 시험 등 기반기술에 기여함.