프로젝트 소개
본 과제는 빛을 이용해 유리 기판과 반도체의 내부 구조 및 표면을 정밀하게 측정하는 산업용 OCT(Optical coherence tomography) 측정 모듈을 개발하는 연구임. OCT는 소재를 직접 손상시키지 않고 3차원 정보를 얻을 수 있어 초정밀 검사가 필요한 산업 분야에 활용되는 기술임.
연구 목표는 유리 기판 및 반도체 검사에 특화된 OCT를 개발하고, 실제 장비와 유사한 환경에서 성능을 검증한 뒤 패키징 전 단계까지 구현하는 데 있음. 핵심 연구 내용은 SLD, 분광기, 파이버 커플러, 모션 제어 스테이지, 광학계로 OCT 간섭계를 구성하고, 광학 테이블에서 모듈 성능을 검증하는 것임. 또한 측정 데이터를 FFT 변환하여 3차원 데이터로 출력하는 소프트웨어를 개발하고, 자체 개발 간섭계 검증부터 소재 측정 범위 확인, 스테이지 및 스캐너 적용 테스트까지 단계적으로 진행함. 기대 효과는 국내 산업용 OCT 기술력 확보와 관련 장비의 상용화 기반 마련임. 이를 통해 국내 업체와의 협력 및 산업 경쟁력 강화, 2026~2030년 매출액 203억원, 수출 60.35억원, 직접고용 23명 창출이 기대됨.