프로젝트 소개
본 과제는 반도체와 같은 정밀한 생산 환경에서 발생하는 정전기를 효율적으로 관리하기 위한 시스템을 개발하는 연구임. 특히, 정전기가 얼마나 빨리 사라지는지(Ion decay time)를 3,000V 이하의 높은 전압에서도 정확하게 측정하여, 제품 불량을 줄이고 생산성을 높이는 데 중점을 둠.
연구 목표는 이오나이저의 이온 밸런스를 ±30V로 자동 유지시키는 통합 모듈과, 이오나이저 및 컨트롤러 간 통신 소프트웨어 개발임. 핵심 연구 내용은 국내 반도체 기업의 요구조건을 수용하여 정전기 통합관리 시스템의 성능을 향상시키는 것임. 5V 또는 24V에서 3,000V로 증폭된 Ion Decay Time을 10초 이내로 측정하는 기술 개발에 중점을 둠. 이는 기존 제품 대비 향상된 성능으로, 삼성전자 등 까다로운 요구조건에 부합함. 3,000V 증폭 기술은 시중 측정 장비로 판별 어려웠던 반도체 고전압 장비에도 적용 가능하여 독점적인 경쟁력 확보임. 이를 위해 다이오드와 캐패시터 특성을 활용한 배전압 회로를 구성하여 전압을 증폭하고, 플레이트 대전을 위한 릴레이 구성 및 대전 시간 관계성 연구에 집중함. 기대 효과는 이온 발생 상태의 실시간 감시 및 조절을 통한 정전기 제거 효율 향상으로, 제품 불량률 개선 및 작업 속도 향상에 크게 기여함.