프로젝트 소개
본 과제는 반도체 웨이퍼 생산에 필수적인 특수 가스를 취급하는 과정에서 발생할 수 있는 환경오염, 인체 피해, 폭발 위험성을 근본적으로 차단하기 위해 가스공급 라인을 무인화하는 시스템을 개발하는 연구임. 사람의 개입을 최소화하여 휴먼 에러를 방지하고 안전성을 극대화하는 것을 목표로 함.
연구 목표는 인체에 치명적이고 폭발 위험성이 큰 특수 가스 취급 자동화를 통해 휴먼 에러를 차단하고 가스 누출 시 인체 사고를 방지하는 무인화 시스템을 완성하는 데 있음. 핵심 연구 내용은 자동교체 가스캐비넷 시스템 개발, 가스 커넥터 자동 체결 장치, 리크 방지 가스켓 자동 교체 장치, 가스실린더 메인밸브 자동 Open/Close 장치 개발 및 비전 검사 시스템 구축임. 또한, 회전 구동 가능한 롤러형 그리퍼를 포함한 가스실린더 얼라인 클램프 장치, 가스 잔량 체크 장치, 자동화용 가스배관 판넬, PLC 기반 자동제어 컨트롤 시스템 및 머신비전 시스템 개발이 포함됨. 2차년도에는 방폭형 RGV 핸드 로봇을 개발하여 가스실린더의 자동 투입 및 배출 물류를 담당하며, 3차년도에는 양방향 밀폐형 게이트와 Grip Turn 장치를 갖춘 자동 스토커 시스템을 개발함. 최종적으로 4차년도에는 무선식 구동 시스템을 내재화한 방폭형 RGV 핸드 로봇 무선 시스템과 AI 비전 기반의 가스실린더 외관 검사 시스템, 그리고 설비 간 네트워크 무선 통신 무인화 시스템을 구축함. 기대 효과는 개발된 자동 가스캐비넷 및 최종 무인화 시스템을 국내외 시장에 적극 홍보하여 매출에 기여하는 것임. 특히, 해외에서도 관심을 보이는 만큼, 개발 완료 후 실질적인 무인화 가동을 통해 고객의 사업화 결정에 도움이 되고 국내외 가스캐비넷 시장의 자동화 전환을 주도하여 큰 매출 성장을 이룰 것으로 전망됨.