프로젝트 소개
본 과제는 디스플레이 및 반도체 생산 공정에서 가스 유량을 정밀하게 제어하는 핵심 부품인 MFC(Mass Flow Controller)의 국산화를 목표로, 개발된 MFC의 양산 적용 성능을 평가하는 연구임. 현재 높은 외산 의존도를 보이는 MFC 시장에서 국산화를 통해 국내 산업의 경쟁력을 확보하는 것이 중요함.
연구 목표는 양산 성능 평가를 통해 소자 제조업체에서 표준 제품으로 등록하고, 외산 기업의 고가 정책을 쇄신하여 원가 절감 및 경쟁력 향상을 실현하는 것임. 이를 통해 A/S 비용 절감과 안정적 제품 수급으로 양산 성능 및 수율 향상에 기여하며, 핵심 부품 국산화를 목표로 함. 핵심 연구 내용은 MFC의 Flow Accuracy, PQ Test, Gas Flow Control 등 성능 평가 항목 도출 및 장비 Log Data 분석, 공정 평가를 통한 검증임. 기대 효과는 종속적 산업 구조 개선을 통한 원가 절감, 경쟁력 향상, 안정적 제품 수급 및 A/S 비용 절감, 수율 향상 및 산업 위협 대응력 강화임. 이는 반도체, 디스플레이 핵심 부품 국산화와 국가 산업 기술 경쟁력 강화에 크게 기여할 것으로 전망됨.