(주)지오엘리먼트

6N 고순도 구리 스퍼터링 타겟 국산화

2024산업통상자원부소재부품산업기술개발기반구축(R&D)
프로젝트 소개
본 과제는 반도체와 디스플레이 등의 제조 과정에서 얇은 막을 입히는 데 사용되는 6N(99.9999%) 고순도 구리 스퍼터링 타겟을 국내 기술로 생산하기 위한 연구임. 스퍼터링 타겟은 구리 원료를 기체 상태로 분사해 제품 표면에 균일한 구리막을 형성하는 핵심 소재임. 연구 목표는 6N 구리 스퍼터링 타겟 제조기술을 개발하고, 4N5(99.995%) 제품과의 성능 비교 및 신뢰성 평가 방법을 확보하며, 수요처 양산성능을 검증하는 데 있음. 핵심 연구 내용은 금속불순물과 가스성분 분석을 통한 잉곳(Ingot) 신뢰성 확보, 대면적 D460㎜ × 13㎜t 소성·가공 최적화, 특수합금과 구리 간 열간등압프레스(Hot Isostatic Press) 확산접합기술 개발임. 또한 GDMS, LECO, ONH 분석기, OM분석, EBSD, XRD 및 초음파탐상기를 활용해 불순물, 조직, 접합률, 표면조도와 제품 간 유의차를 평가하고 단위공정·연속공정 성능을 검증함. 기대 효과는 일본 공급사 과점 및 100% 수입 의존 구조를 개선하고 일본 수출규제와 해외 공급망 위험에 대응하는 것임. 반도체뿐 아니라 디스플레이, 태양광, 건축용 증착소재의 국산화와 관련 시장 확대, 구리망간 합금 스퍼터링 타겟 개발 기반 마련에도 기여함.
구리스퍼터스퍼터링 타겟단조압연CopperSputterSputtering TargetForgingRolling
참여형태
협동
사업명
소재부품산업기술개발기반구축(R&D)
부처명
산업통상자원부
주관기관명
(사)한국반도체산업협회
협동수행기관명
(주)위존, (주)케이알에스, (주)디이에스, (주)에이에스케이, (주)티아이, (주)제이엠머티리얼즈, (주)지오엘리먼트, (주)에이아이비즈, (주)티에프씨랩, (주)비츠로이엠, (주)코모텍, (주)엑시콘, (주)씨엠테크, (주)피티씨, (주)에스피에스텍, (주)에이티아이케이, 와이테크, 조광페인트(주), (주)엘케이엔지니어링, (주)에스알티, (주)예스티, (주)마스, (주)피제이피테크, (주)지에스에프솔루션, (주)케이씨텍
과제 수행연도
2024
과제 수행기간
2024.05.01 ~ 2025.04.30
과제 고유번호
2410002193
연구 개발단계
개발연구
연구비
총연구비
447,780,000 원
정부지원연구개발비
300,000,000 원
위탁연구비
0 원
민간연구비
147,780,000 원
주관/협동기관 정보
주관/협동수행기관명연구수행주체지역
협동(주)위존중소기업경기도
협동(주)케이알에스중소기업경기도
협동(주)디이에스중소기업경기도
협동(주)에이에스케이중소기업전라북도
협동(주)티아이중소기업경상북도
협동(주)제이엠머티리얼즈중소기업서울특별시
주관(사)한국반도체산업협회기타경기도
협동(주)지오엘리먼트중소기업경기도
협동(주)에이아이비즈중소기업서울특별시
협동(주)티에프씨랩중소기업경기도
협동(주)비츠로이엠중소기업경기도
협동(주)코모텍중소기업경상북도
협동(주)엑시콘중소기업경기도
협동(주)씨엠테크중소기업기타
협동(주)피티씨중소기업경기도
협동(주)에스피에스텍중소기업경기도
협동(주)에이티아이케이중소기업경기도
협동와이테크중소기업경기도
협동조광페인트(주)중견기업부산광역시
협동(주)엘케이엔지니어링중소기업경기도
협동(주)에스알티중소기업경기도
협동(주)예스티중소기업기타
협동(주)마스중소기업경기도
협동(주)피제이피테크중소기업경기도
협동(주)지에스에프솔루션중소기업충청북도
협동(주)케이씨텍중견기업경기도
사업화 정보1건
성과발생년도사업화내용사업화형태기술이전유형업체명당해년도매출액
20246N 고순도 구리 스퍼터링 타겟 국산화기술보유자의 직접사업화_기존업체-공정개선-지오엘리먼트-
과제 기반 국내외 특허0건
출원/등록 기관발명의 명칭출원일자출원국가출원번호등록일자등록번호
과제 기반 SCI(E) 논문0건
논문명학술지명DOI/URL