연속성장공법을 이용한 원가절감형 고품위 4m 실리콘 단결정 잉곳성장 기술 개발

본 과제는 4.5 m급 장신 실리콘 단결정 잉곳과 Wafer, 태양전지 cell을 한 번에 고품위로 만들기 위한 공정·장비·시뮬레이션 기술을 개발하는 연구임. 연구목표는 산소농도 13ppma 이하 4.5 meter 잉곳 성장, Orbit 2mm 이하 Pull Chamber 제작, 전용 코팅·자동화 프로그램·성장 Growing recipe 최적화, 다이나믹 열분포 시뮬레이션, Wafer 세정 및 Diamond wire sawing 모델 확립, Top-Middle-Bottom 성능 비교 달성임. 기대효과는 1383억원 wafer 수입대체, 생산능력 120,000→144,000 kpcs 증대 및 신규고용 창출, Green energy 기반 탄소배출저감임.