본 과제는 다공성 소재인 MOF를 활용해 Xe/Kr를 분리·정제하고, 이를 반도체용 특수가스 공정에 적용하기 위한 기술 기반을 마련하는 연구임. MOF의 기공 구조와 안정성을 최적화하고 펠렛화하여 실용 공정에 맞는 형태로 전환하는 것이 핵심임.
연구 목표는 Xe/Kr 분리용 MOF 선정, Column 수학모델 개발, 파일럿 규모 대량 합성, 펠렛화 성형법 최적화, 통합 공정 모델 및 경제성분석·전과정 평가 수행임. 이를 통해 고순도 Xe/Kr 생산성과 공정 안정성을 높이고, 기술이전 및 사업화 가능성 확보가 기대됨. 나아가 반도체 특수가스 자립화, 시장 확대, 일자리 창출 효과도 전망됨.