반도체/LCD 공정용 약액 및 DIW 정밀 유량 제어 시스템을 위한 전동 니들 밸브 개발

2020중소벤처기업부산학연CollaboR&D(R&D)
프로젝트 소개
본 과제는 전동 니들 밸브의 핵심 부품인 다이아프램과 Valve Body를 직접 개발해 약액 유량을 정밀하게 조절하는 유량 제어 장치 국산화를 추진하는 연구임. 연구 목표는 전동 니들 밸브 작동 원리 분석 후 자체 제작 방향을 설정하고 다이아프램 변형 및 유동 해석을 거쳐 시작품을 제작·성능 평가·문제점 보완까지 수행하며 제품 국산화 계획을 수립하는 데 있음. 핵심 연구 내용은 다이아프램 Sealing과 반복 내구성을 고려한 모델링·제작, Valve Body의 개구율 및 유동 마찰·난류 저감을 위한 모델링·시뮬레이션·제작 및 내압·유량 정밀도·유량 선형도 평가, 시뮬레이션과 유량 결과의 상호 분석으로 원인 해결임. 기대 효과는 국내 최초 전동 니들 밸브 유량 장치 개발로 수입 대체 및 원가 절감, 전동 니들 밸브까지 포함한 유량 제어 시스템 통합 제작을 통한 경쟁력 강화 달성임.
반도체유량계전동밸브유량제어시스템전동니들밸브SemiconductorFlowmeterMotor ValveFlow Control SystemMotor Needle Valve
참여형태
주관
사업명
산학연CollaboR&D(R&D)
부처명
중소벤처기업부
주관기관명
주식회사에스앤씨
공동/위탁수행기관명
공주대학
과제 수행연도
2020
과제 수행기간
2020.06.29 ~ 2021.02.28
과제 고유번호
1425142749
연구 개발단계
개발연구
연구비
총연구비
34,625,000
정부지원연구개발비
27,700,000
위탁연구비
0
민간연구비
6,925,000
주관/협동기관 정보
주관/협동수행기관명연구수행주체지역
주관주식회사에스앤씨중소기업충청남도
공동/위탁기관 정보1건
공동/위탁수행기관명연구수행주체참여형태공동연구비 수입금액 (원)공동연구비 지출금액 (원)
공동공주대학대학연구·기술개발-12,500,000
과제 기반 국내외 특허0건
출원/등록 기관발명의 명칭출원일자출원국가출원번호등록일자등록번호
과제 기반 SCI(E) 논문0건
논문명학술지명DOI/URL