프로젝트 소개
본 과제는 TiON(TiON/TiO) 박막을 상온에서 제작해 열반사판 유리와 광촉매 재료로 활용 가능성을 높이는 연구임.
연구 목표는 vacancy 농도가 높은 티타늄 산화막을 시작 물질로 비평형 산화/질화 플라즈마 공정을 적용하여 폭넓은 N 농도의 우수한 퀄리티 TiON 박막을 얻는 데 있음. Ti 타겟 스퍼터링 후 플라즈마 파워와 O/Ar 가스 흐름율로 species의 에너지 분포를 최적화하고, 열역학 요소를 고려해 불필요한 결정 결함 생성 가능성을 줄임. 기대효과는 플라즈마 기반 이중 박막 구조의 내구성·공정 편이성 향상 및 광촉매용 TiON의 에너지 변환·환경 정화 적용 가능성 확대임.