반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발 및 실증

2022과학기술정보통신부국가과학기술연구회연구운영비지원(주요사업비)
프로젝트 소개
본 과제는 반도체장비산업의 글로벌 경쟁력 확보를 위해 플라즈마 공정의 데이터를 체계적으로 정보화하고, 공정 장비를 지능화하는 핵심원천기술을 개발·실증하는 연구임. 연구 목표는 IoT, 빅데이터, 인공지능을 활용해 반도체제조 생산성 향상을 이루는 데 있음. 핵심 내용은 스마트 플라즈마 진단 센서 및 데이터 기술, 표준화된 센서 신뢰성 평가, 플라즈마 정보 인자화, 고신뢰성 데이터베이스, 머신러닝 기반 장비/공정 해석, 가상 계측, 디지털 트윈, APC 제어기와 FDC 알고리즘, 통합 DB 및 테스트베드 구축임. 기대 효과는 차세대 반도체장비 원천기술 확보, 글로벌 1위 경쟁력 유지, 반도체/디스플레이 장비 국산화율 향상과 시장 점유율 확대, 일자리 창출임.
공정장비/부품 생산/운영/관리 상태데이터/상태데이터 정보화 및 지능화/공정장비 지능화 실증 및 테스트베드 구축Process equipment/part/material production/operation/management status data/operation/management status data information and intelligence/Process equipment intelligence demonstration and test bed construction
참여형태
주관
사업명
국가과학기술연구회연구운영비지원(주요사업비)
부처명
과학기술정보통신부
주관기관명
한국핵융합에너지연구원
공동/위탁수행기관명
(재)한국표준과학연구원, 한국과학기술연구원, 한국과학기술정보연구원, 서울대학, 명지대학, 전북대학, 충남대학, 한국항공대학, 가천대학, 부산대학, 한양대학, 한양대학, 전북대학, 한국과학기술원, 군산대학
과제 수행연도
2022
과제 수행기간
2020.11.01 ~ 2026.10.31
과제 고유번호
1711177760
연구 개발단계
개발연구
연구비
총연구비
7,500,000,000 원
정부지원연구개발비
5,000,000,000 원
위탁연구비
900,000,000 원
민간연구비
2,500,000,000 원
주관/협동기관 정보
주관/협동수행기관명연구수행주체지역
주관한국핵융합에너지연구원출연연구소전라북도
공동/위탁기관 정보15건
공동/위탁수행기관명연구수행주체참여형태공동연구비 수입금액 (원)공동연구비 지출금액 (원)
공동(재)한국표준과학연구원출연연구소연구·기술개발200,000,000800,000,000
공동한국과학기술연구원출연연구소연구·기술개발120,000,000480,000,000
공동한국과학기술정보연구원출연연구소연구·기술개발-300,000,000
공동서울대학대학연구·기술개발-500,000,000
공동명지대학대학연구·기술개발-300,000,000
위탁전북대학대학---
위탁충남대학대학---
위탁한국항공대학대학---
위탁가천대학대학---
위탁부산대학대학---
위탁한양대학대학---
위탁한양대학대학---
위탁전북대학대학---
위탁한국과학기술원대학---
위탁군산대학대학---
기술료1건
성과발생년도기술실시계약명연구성과 소유 기관명당해연도 기술료정부납부 기술료기술료 실시 대상 국가
2022평면형 플라즈마측정기술영리법인500,000,000-대한민국
과제 기반 국내외 특허0건
출원/등록 기관발명의 명칭출원일자출원국가출원번호등록일자등록번호
과제 기반 SCI(E) 논문0건
논문명학술지명DOI/URL