프로젝트 소개
본 과제는 전자기기에서 전기를 저장하고 조절하는 고분자 유전체를 파릴렌 기반 박막으로 개발하는 연구임. 다양한 관능기를 파릴렌에 도입하여 유전특성과 안전성을 조절하고, 트랜지스터와 센서 등에 활용 가능한 기능성 고분자 박막을 확보하는 내용임.
연구 목표는 고기능성 단량체 라이브러리 구축, 단량체의 대량합성 및 정제, 화학기상증착(CVD) 조건 최적화를 통한 기능성 파릴렌 박막 개발에 있음. 핵심 연구 내용은 승화온도, 열분해온도, 챔버온도, 증착부온도 등을 조절하여 8인치 웨이퍼 규모의 균일한 박막 증착기술을 확보하고, MIM(Metal-Insulator-Metal)소자를 활용해 유전상수, 정전용량, Dissipation factor, breakdown voltage 등을 평가하는 것임. 또한 광경화, 열경화, Alkyne-Azide 클릭 반응, High-k 유전체 및 고체-액체(S-L) 기반 Hybrid 파릴렌 필름을 개발하여 트랜지스터와 센서로 응용함. 기대 효과는 수입 의존도가 높은 Parylene 단량체의 국산화와 수출 제한 대응, 국내 고분자 유전체 기술 격차 해소, 플렉서블·스트레처블 디바이스와 디스플레이용 TFT 및 웨어러블 기기 분야의 기술 경쟁력 강화임.