프로젝트 소개
본 과제는 OLED 디스플레이 제조 과정에서 절연막을 정밀하게 식각할 때 사용되는 기존 플라즈마 식각가스를 온실가스 배출이 적은 친환경 가스로 대체하는 기술을 개발하는 연구임. 디스플레이의 Oxide TFT 패턴 형성에 필요한 식각 성능과 환경성을 동시에 확보하는 것이 핵심임.
연구 목표는 150 이하의 저온난화지수를 지니는 Fluorine-Rich PFC 대체가스 후보군을 발굴하고, 실험실 및 벤치규모 합성·제조·고순도화 정제 공정을 개발하는 데 있음. 핵심 연구 내용은 대체가스의 구조-물성-식각 특성 상관관계 예측 플랫폼과 절연막 식각 평가 테스트 플랫폼 구축, Oxide TFT용 절연막의 식각율·CD Bias·부산물 분석, 최적화 식각 공정 개발 및 필드 테스트를 통한 실증화 타당성 검증임. 기대 효과는 OLED 디스플레이 공정에 대체가스를 단계적으로 적용하여 온실가스 감축과 해외 기술 의존도 저감, 관련 특허 확보 및 국내 가스 소재·공정 장비 산업 활성화에 기여하는 것임. 온실가스 감축률 95~99% 및 탄소 배출량 약 290만 ton-CO2eq 저감 가능성 기대됨.