프로젝트 소개
본 과제는 반도체 등 첨단 전자부품 제조에 필수적인 초고순도 프리커서의 효율적인 이송 시스템과 새로운 합성 기술을 개발하는 연구임. 프리커서의 순도와 안정적인 공급은 제품의 품질과 생산 효율을 결정하는 핵심 요소임.
연구 목표는 기화 시스템 기초 기술 개발과 MoO2Cl2 프리커서 승화 정제 공정 모사를 통한 대용량 승화정제기 설계임. 더불어 DIS 프리커서 특허 회피 신규 합성 공정 및 Li-free High-k 프리커서 신규 합성 기술 개발을 포함함. 핵심 연구 내용은 MoO2Cl2용 캐니스터 구조 설계, 고체 전구체 레벨 측정 알고리즘 개발, 캐니스터 부식 방지 기술 조사임. 또한, MoO2Cl2 승화 정제 공정 시뮬레이션, 기존 DIS 제조 방법 분석을 통한 특허 회피 신규 합성 공정 설계, CpTDMAZ/Hf 프리커서의 n-BuLi 미사용 합성법 검증 및 신규 반응 메커니즘 규명에 집중함. 기대 효과는 열전달이 향상된 캐니스터 구조 설계, 고체 전구체 레벨 측정 기술, 부식 방지 기술 확보를 통한 프리커서 이송 시스템 고도화임. 이는 대용량 승화정제기 설계안, 특허 회피 DIS 합성 공정, Li-free High-k 프리커서 합성 공정 기술 확보로 이어져 국내 반도체 소재 산업의 기술 자립화 및 경쟁력 강화에 크게 기여할 것으로 전망됨.