프로젝트 소개
본 과제는 자외선(UV)과 적외선(IR)을 포함한 광대역의 빛을 모든 방향에서 감지하는 실리콘(Si) 광센서 기술 개발을 목표로 함.
연구 목표는 광대역 실리콘(Si) 광센서(PD) 시제품의 제조 공정 및 신뢰성 향상, 무지향성 반사방지막(ARC) 고성능화, 그리고 UV-IR Si PD의 FEOL(Front-End-Of-Line) 및 BEOL(Back-End-Of-Line) 공정 최적화에 있음. 핵심 연구 내용은 시제품 제작을 위한 공정 라인 변경, TEG(Test Element Group) 설계, 고신뢰성 패키지 디자인, 고품질 Si 에피 및 ESD 내성 향상 공정 개발임. 나노패터닝 기반 ARC 특성 향상, IR 검출 감도 향상 Mirror coating, FEOL 및 BEOL 공정 최적화를 통해 PD 신뢰성 및 품질 안정화를 도모함. 기대 효과는 광센서 분야 해외 기술 격차 해소와 고부가 가치화 달성임. 순수 국내 기술로 CMOS 일괄 공정을 확립하여 사업화에 성공하고, 고성능 광센서 수입 의존도를 낮춰 무역 수지 개선에 기여할 것으로 전망됨. 이는 미래 IoT 기술 구현을 위한 스마트 센서 개발의 교두보적 역할을 수행함.