프로젝트 소개
본 과제는 ZnO 나노입자 기반 센서를 이용해, 고온 환경과 자외선(UV) 조사 유무를 함께 활용해 2종 이상의 가스를 구별 검출하는 단일 소자 센서 제작 기술을 개발하는 연구임.
연구목표는 200~300 ℃ ZnO 나노입자 합성 및 MOS, 귀금속 나노입자 기능화 감지재로 감응 특성을 고도화하고, microheater 실장형 interdigital electrode (IDE) 센서 기판과 UV on/off 동시 제어 system에서 5채널 이상 동시 sensing으로 선택성·최적 파장(380 nm)·감도를 규명함. 기대효과는 UV 조사형 상온센서와 고온 작동형 센서의 장점을 융합한 multi-mode 센서로 구조 단순화와 비용 절감, 기존 대비 센서 요구 성능(감응 특성) 향상 및 3종 이상 가스 확장 가능성 제시됨.