프로젝트 소개
본 연구는 회전과 이동을 동시에 정밀하게 다루는 마이크로액추에이터 모듈을 설계·제어하기 위한 기술체계를 확립하는 연구임.
연구 목표는 회전운동, 2축 각운동, 수직이동이 동시 가능한 소형·정밀·안정 액추에이터를 확보하는 것임. 핵심 연구 내용은 z축 회전운동 Rz와 x축 각운동 Tx, y축 각운동 Ty, z축 수직이동 Dz를 구현하고 회전자 진동·기울어짐을 보상하도록 굽힘액추에이터와 회전액추에이터, 센서 겸용 커패시터 액추에이터를 센싱·제어로 융합하는 고정밀 피드백제어 시스템 설계임. 기대 효과는 소형·저전력·안정성 및 증대된 운동자유도를 만족하며 마이크로 자동화, 의생명, 초정밀 계측, 광학 기기용 핵심 부품으로 활용 가능성 제시임.