프로젝트 소개
본 과제는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 생산 효율(수율)을 높이기 위해 정전척에 통합된 친환경적인 온도 제어 시스템을 개발하는 연구임.
연구 목표는 온도 제어 속도를 극대화하는 제어 프로그램 개발과 RF 환경에서도 안정적으로 동작하는 열전소자용 파워 SMPS 설계 완료임. 또한, 시제품 제작을 통한 현장 신뢰성 테스트 및 양산화 시제품 제작을 포함함. 핵심 연구 내용은 RF 환경에서 정전척의 성능을 최적화하는 제어 프로그램 및 알고리즘 개발, 그리고 RF 환경에 강한 파워 SMPS 개발임. 정전척 Plate, 열전소자 모듈, 쿨링라인 등 각 구성품의 접합을 통한 시제품 제작 및 양산화 시제품 제작을 수행함. 기대 효과는 반도체 제조업체와의 협력을 통한 현장 신뢰성 확보 및 제품 홍보, 그리고 개발된 제어 프로그램의 타 장비로의 적용 가능성 확보임. 이를 통해 웨이퍼 수율 향상에 크게 기여할 것으로 전망됨.