프로젝트 소개
본 과제는 비평형 산화/질화 플라즈마로 N 농도 범위가 넓고 퀄리티가 높은 TiON 박막을 상온 공정으로 제작하는 연구임.
연구 목표는 TiO 시작 물질의 vacancy 농도 활용과 플라즈마 에너지 최적화로 반응 활성도는 높이고 불필요한 결정 결함 생성 가능성을 줄이는 데 있음. Ti 타겟 스퍼터링으로 TiO 박막을 상온 증착하며 O/Ar 가스 흐름율과 플라즈마 파워를 조절하여 species 에너지 분포를 제어함. 또한 TiON 열반사판 유리와 광촉매 특성을 평가하며, 이중 박막(TiON/TiO) 구조의 내구성과 편이성 개선 및 고효율 광촉매용 안정 TiON 개발로 신재생 에너지·환경 청정 응용 파급효과 기대됨.