프로젝트 소개
본 과제는 Glass Vision Inpect 장비와 WLSCP 공정을 위한 MP-GVI 패키지 핸들러를 개발해 반도체 검사·이송을 자동화하는 연구임.
연구 목표는 Glass Vision Inpect 장비 개발 및 WLSCP 공정을 위한 MP-GVI 패키지 핸들러 개발임. 핵심 연구 내용은 Camera Unit, Image Processing Unit, Sensor Unit, Inspection & Drive Unit, C_Tray Mover X*Z Robot, MP-GVI PKG. Handler를 구성하고 기구·Control unit·알고리즘·S/W를 통합한 뒤 시작품제작, 생산라인 실장테스트, 에러 보정 및 성능보완을 수행하는 것임. 기대효과는 제어 신뢰성 향상, 측정 산포 최소화, 대형 웨이퍼 대응, 공정 장비 관리 및 엔지니어 업무 효율 향상, 유지비용 절감, 수입대체 및 수출기대임.