이소결 산화알루미늄 분말의 반도체 디스플레이 에칭장비 부품 최적 적용 기술개발

2024산업통상자원부소재부품기술개발
프로젝트 소개
본 과제는 반도체와 디스플레이 제조 과정에서 플라즈마를 이용해 회로를 깎는 에칭장비에 사용되는 초대형 세라믹 부품을 국산 산화알루미늄 분말로 제작하고 상용화하는 연구임. 연구 목표는 10.5세대급 Dry Etcher용 2차 시제품의 국산화를 완료하고, 최종 수요처의 품질·신뢰성 검증과 안정적인 양산을 위한 공정 표준화를 달성하는 데 있음. 핵심 연구 내용은 국산 분말의 과립, 성형, 소결 조건 확립, 2000×1000×50t(mm)급 대형 세라믹 제작, 가공·후처리·세정 및 Particle제거 Process 표준화임. 또한 밀도, 꺾임강도, 표면조도, 내플라즈마 특성 및 플라즈마식각율을 평가하고 분말 제조조건을 개선함. 기대 효과는 국내 산화알루미늄 분말의 습식·건식 공정 표준화와 반도체·디스플레이용 세라믹 부품의 국산화 및 상용화이며, 관련 산업의 공급망 강화와 신규 고용 창출 효과임.
이소결 산화 알루미늄 분말반도체디스플레이실증기술인증Easy sintered alumina powderSemiconductorDisplayProven technologyCertification
참여형태
협동
사업명
소재부품기술개발
부처명
산업통상자원부
주관기관명
(주)대한세라믹스
협동수행기관명
(주)대한세라믹스, 실리콘밸리(주), (주)케이씨엠테크놀로지
공동/위탁수행기관명
영남대학, 금오공과대학, (주)제이엠, (주)미코
과제 수행연도
2024
과제 수행기간
2020.08.01 ~ 2024.12.31
과제 고유번호
2410005627
연구 개발단계
개발연구
연구비
총연구비
1,289,000,000 원
정부지원연구개발비
839,000,000 원
위탁연구비
0 원
민간연구비
450,000,000 원
주관/협동기관 정보
주관/협동수행기관명연구수행주체지역
협동(주)대한세라믹스중견기업전라남도
협동실리콘밸리(주)중소기업경상북도
주관(주)대한세라믹스중견기업전라남도
협동(주)케이씨엠테크놀로지중소기업경기도
공동/위탁기관 정보4건
공동/위탁수행기관명연구수행주체참여형태공동연구비 수입금액 (원)공동연구비 지출금액 (원)
공동영남대학대학연구·기술개발-62,000,000
공동금오공과대학대학연구·기술개발-62,000,000
공동(주)제이엠중소기업연구·기술개발15,600,000211,000,000
공동(주)미코중견기업연구·기술개발10,300,000152,000,000
사업화 정보39건
성과발생년도사업화내용사업화형태기술이전유형업체명당해년도매출액
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_2775X345X20T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지1,554,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_1230X310X50T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지1,750,000
2024해당품은 중국의 디스플레이 제조사의 4.5G Dry Etcher 장비용 세라믹이며, 국산 세라믹의 품질 수준은 중국산 세라믹 보다 가공 정밀도 및 Particle 발생량 등에서 상대적 우위에 있으나 중국산 세라믹 대비 고가로 인하여 사용이 어려웠으나, 국산 분말 세라믹을 적용한 가격 Gab 감소와 금번 과제를 통한 Particle 저감 기술을 적용한 품질적 우위를 내세워 사업화가 가능하였음.기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-주식회사 제이엠5,664,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_2850X230X20T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지4,900,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE _ 1050X1050X20T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지3,710,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_1460X150X86T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지3,360,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_670X280X50T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지3,080,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_1050X1050X15T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지2,800,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_940X100X80T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지1,470,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_2000X60X20T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지812,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_2850X105X20T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지1,960,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_2000X40X15T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지203,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_790X125X48T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지770,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_1480X269X48T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지3,430,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_290X260X45T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지2,072,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_482X77X47T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지560,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_2775X105X20T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지1,848,000
2024기존 수출 제품인 plate를 국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 제작 후 중국 업체인 Wuxi에 수출 함. (PLATE_3495X85X29T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지3,388,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_296X260X45T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지1,036,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLAE_410X260X45T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지2,205,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_790X160X48T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지952,000
2024기존 수출 제품인 plate를 국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 제작 후 중국 업체인 KEMATEK에 수출 함. (PLATE_3025X96X42T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지6,720,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (RING_490X300X30T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지490,000
2024기존 수출 제품인 plate를 국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 제작 후 중국 업체인 KEMATEK에 수출 함. (PLATE_2450X182X42T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지3,549,000
2024기존 수출 제품인 plate를 국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 제작 후 중국 업체인 KEMATEK에 수출 함. KEMATEK에서 해당 세라믹 plate를 가공하여 End effector 부품 소재로 사용함. (PLATE_3353X99X42T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지9,324,000
2024기존 수출 제품인 plate를 국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 제작 후 중국 업체인 Wuxi에 수출 함. (PLATE_2700X180X42T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지9,100,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_2000X140X25T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지2,352,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_2850X250X20T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지2,240,000
2024국산 산화알루미늄 분말을 사용하여 반도체 검사장비 및 디스플레이 패널 검사 장비에 사용될 세라믹 소재를 제작 후 제이엠에 판매 함. (PLATE_2775X250X20T)기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-케이씨엠테크놀로지1,085,000
2024디스플레이 Dry Etching 공정용 세라믹에 Particle 제거의 개발 기술 적용 및 국산 분말 세라믹의 원가 경쟁력으로 해외로 Dry Etching 공정용 세라믹을 공급함.기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-주식회사 제이엠411,293
2024디스플레이 Dry Etching 공정용 세라믹에 Particle 제거의 개발 기술 적용 및 국산 분말 세라믹의 원가 경쟁력으로 해외로 Dry Etching 공정용 세라믹을 공급함.기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-주식회사 제이엠933,826
2024디스플레이 Dry Etching 공정용 세라믹에 Particle 제거의 개발 기술 적용 및 국산 분말 세라믹의 원가 경쟁력으로 해외로 Dry Etching 공정용 세라믹을 공급함.기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-주식회사 제이엠1,213,981
2024기존 석재질이 사용되었던 Run&out Measurement 장비에 품질적으로 우위에 있으나 석재질 대비 고가로 인하여 세라믹 사용에 어려움이 있었으나 국산 분말 세라믹의 원가 경쟁력으로 세라믹과 석재질의 원가 차이를 줄일 수 있었서 해당품에 세라믹을 적용하여 사업화함.기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-주식회사 제이엠1,170,000
2024반도체 검사장비의 웨이퍼 진공 Chuck용도의 부품을 국산분말 소결 세라믹을 적용을 통한 원가 절감을 통하여 기존 석재질에서 세라믹 재질로 변경하여 공급함.기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-주식회사 제이엠2,700,000
2024해당품은 중국의 디스플레이 패널 제조사인 TIANMA사의 Dry Etching 공정용 세라믹 부품이며, 국산 세라믹이 중국산 세라믹 대비 우수한 품질을 갖고 있으나 국산 세라믹 부품의 가격적인 경쟁력 열위로 인해 고 품질을 요구하는 부품만 국산 세라믹을 공급하고 있었으나 국산 분말 세라믹의 적용으로 기존 국산 세라믹 제품 대비 원가 경쟁력 확보가 가능하여 해당품을 수주하여 국산 분말 세라믹으로 부품 공급함.기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-주식회사 제이엠9,595,500
20248.6 세대용 디스플레이 패널 검사장비의 Cross Beam과 Air Slide를 국산 분말 세라믹을 사용하여 기존 해외에서 Beam 형태로 수입해서 사용되는 해당품을 당사 Beam 제작의 특허기술과 국산 분말 세라믹의 원가 경쟁력을 앞세워 국산품으로 대체하여 공급함.기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-주식회사 제이엠12,900,000
2024디스플레이 검사장비의 Base와 Air 구동의 Slide에 해외산 세라믹 대비 원가 경쟁력으로 국산 분말 세라믹을 적용하여 공급함.기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-주식회사 제이엠19,500,000
2024디스플레이 검사장비용 X축 Cross Beam에 국내산 세라믹 분말 소재를 적용한 원가 절감과 당사 분할 접합 방식의 특허 기술을 적용한 Ceramic Beam을 제작하여 해당 장비 제조사에 공급하였음.기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-주식회사 제이엠22,200,000
2024디스플레이 검사장비의 Gentry Beam과 Air 구동의 Slide는 세라믹 소재의 고단가로 인하여 석재질을 사용하였으나 고정밀도의 가공과 평탄도 및 진직도 확보의 장점과 기존 국외산 세라믹 대비 국산 분말 세라믹의 원가 경쟁력과 당사에서 보유한 Gentry Beam 접합기술의 특허 기술을 적용하여 사업화 시킴기술보유자의 직접사업화_기존업체-상품화-주식회사 제이엠40,200,000
과제 기반 국내외 특허0건
출원/등록 기관발명의 명칭출원일자출원국가출원번호등록일자등록번호
과제 기반 SCI(E) 논문0건
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