반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발 및 실증

2021과학기술정보통신부국가과학기술연구회연구운영비지원(R&D)(주요사업비)
프로젝트 소개
본 과제는 플라즈마 공정에서 발생하는 다양한 신호를 센서와 데이터 기술로 정밀하게 읽고, 이를 바탕으로 장비와 공정을 더 똑똑하게 제어하기 위한 연구임. 연구 목표는 스마트 플라즈마 진단 센서, 표준화된 신뢰성 평가 테스트베드, 플라즈마 정보 인자화 기술, 고신뢰성 플라즈마 데이터베이스, 2차원 나노소재 기반 공정 데이터 개발에 있음. 핵심 연구 내용은 OES 분광계, VI 진단계, APC 제어기, FDC 알고리즘, 장비 플라즈마 통합 DB를 활용한 데이터 정보화, 머신러닝 기반 해석, 가상 계측, 디지털 트윈, 실증용 테스트베드 구축임. 기대 효과는 차세대 반도체장비 핵심원천기술 확보, 반도체/디스플레이 장비 국산화율 향상, 시장 점유율 확대 및 일자리 창출임.
공정장비/부품 생산/운영/관리 상태데이터공정장비/부품 생산/운영/관리 상태데이터 정보화 및 지능화공정장비 지능화 실증 및 테스트베드 구축Process equipment/part/material production/operation/management status dataProcess equipment/part/material production/operation/management status data information and intelligenceProcess equipment intelligence demonstration and test bed construction
참여형태
주관
사업명
국가과학기술연구회연구운영비지원(R&D)(주요사업비)
부처명
과학기술정보통신부
주관기관명
한국핵융합에너지연구원
공동/위탁수행기관명
(재)한국표준과학연구원, 한국과학기술연구원, 한국과학기술정보연구원, 서울대학, 명지대학, 전북대학, 충남대학, 한국항공대학, 가천대학, 부산대학, 전북대학, (재)한국표준과학연구원, 한국과학기술연구원, 한국과학기술정보연구원, 서울대학, 명지대학, 전북대학, 충남대학, 한국항공대학, 가천대학, 부산대학, 전북대학
과제 수행연도
2021
과제 수행기간
2020.11.01 ~ 2026.10.31
과제 고유번호
1711151477
연구 개발단계
개발연구
연구비
총연구비
7,500,000,000 원
정부지원연구개발비
5,000,000,000 원
위탁연구비
600,000,000 원
민간연구비
2,500,000,000 원
주관/협동기관 정보
주관/협동수행기관명연구수행주체지역
주관한국핵융합에너지연구원출연연구소전라북도
공동/위탁기관 정보22건
공동/위탁수행기관명연구수행주체참여형태공동연구비 수입금액 (원)공동연구비 지출금액 (원)
공동(재)한국표준과학연구원출연연구소연구·기술개발--
공동한국과학기술연구원출연연구소연구·기술개발--
공동한국과학기술정보연구원출연연구소연구·기술개발--
공동서울대학대학연구·기술개발--
공동명지대학대학연구·기술개발--
위탁전북대학대학---
위탁충남대학대학---
위탁한국항공대학대학---
위탁가천대학대학---
위탁부산대학대학---
위탁전북대학대학---
공동(재)한국표준과학연구원출연연구소연구·기술개발--
공동한국과학기술연구원출연연구소연구·기술개발--
공동한국과학기술정보연구원출연연구소연구·기술개발--
공동서울대학대학연구·기술개발--
공동명지대학대학연구·기술개발--
위탁전북대학대학---
위탁충남대학대학---
위탁한국항공대학대학---
위탁가천대학대학---
위탁부산대학대학---
위탁전북대학대학---
과제 기반 국내외 특허0건
출원/등록 기관발명의 명칭출원일자출원국가출원번호등록일자등록번호
과제 기반 SCI(E) 논문0건
논문명학술지명DOI/URL