프로젝트 소개
본 과제는 자외선(UV)으로 활성화하는 ZnO 나노튜브(NTs) 기반 FET 센서를 만들어 상온에서 수소 가스를 정밀하게 감지하는 기술 개발임.
연구 목표는 직접천이형 밴드갭을 갖는 산화 아연 ZnO NTs를 센서 물질로 설계하고, 자외선 조사형 수소 가스 검출 시스템으로 상온영역 감응도·고선택성 특성을 측정해 100 ppb 수소에 10 이상 감응도·100 이상 선택도 달성하는 센서 개발임. 핵심 연구 내용은 박막 공정 기반 ZnO NTs 합성법 확립, UV 강도·파장 최적화, 표면 개질·코팅·도핑·나노튜브 구조 개선, GaN 기반 UV LED 칩 및 MEMS로 1mm×1mm 초소형·플렉서블 센서 칩 제작임. 기대 효과는 기존 고온형 수소 센서의 대체 가능함과 모바일·플렉서블 장치 적용성 확보로 수소 수요 확대에 대응 가능함.