프로젝트 소개
본 과제는 메모리 저장 공간을 크게 늘리기 위해 여러 층을 수직으로 쌓는 초고층 3D NAND 메모리의 성능과 집적도를 높이는 신소재 및 공정 기술을 개발하는 연구임. 특히 고이동도 채널 물질과 기능성 강유전체를 활용하고, AI를 통해 메모리 특성과 공정 결과를 빠르고 정확하게 분석하는 기술 개발임.
연구 목표는 500단 이상 3D NAND 메모리 셀의 고성능·고집적화와 초고층 구조의 신뢰성 확보임. 핵심 연구 내용은 차세대 유전막·채널 구조의 게이트 스택 공정과 동작 기법 개발, 기능성 강유전체를 적용한 NC-NAND 및 Hybrid-NAND 소자 개발, 3D 집적 모듈 공정과 셀 스케일링 기술 개발임. 또한 메모리 변동성·신뢰성 분석 및 모델링, AI 기반 어레이 동작 최적화와 대규모 해석 플랫폼 구축을 추진함. 기대 효과는 신소재 기반 3D NAND의 물리적 한계 돌파, 개발 시간과 분석 비용 단축, 국내 반도체 산업의 기술 경쟁력 및 차세대 3D NAND 관련 IP 확보임.