프로젝트 소개
본 연구는 첨삭가공에서 나노입자(크기·모양·종류)와 유기물(계면활성제, 바인더)이 빛 에너지의 산란과 소결 중 마랑고니 유동을 어떻게 바꾸는지 분석해, 더 안정적인 미세 패턴을 만드는 연구임.
연구 목표는 산란효과 종류에 따른 소결 경향, 표면에너지 변화에 따른 마랑고니 유동 변화, 소결된 패턴의 단면을 연계해 세장비 5 이상의 고종횡비 패턴 생성에 필요한 최적 조건을 파악하는 것임. 핵심 내용은 1차년도에 40nm 이하에서 레일리 산란-미에 산란 전환, 유기물의 광에너지 상호작용 순서 예측을 수행하고, 2차년도에 바인더 용액의 마랑고니 유동을 정량 분석하며, 3차년도에 재료별 최적 입자크기와 첨가 유기물을 제안하는 전개로 구성됨. 기대효과는 공정신뢰성 향상으로 10um 이하 미세선폭 제조의 기반을 제공함.