프로젝트 소개
본 과제는 플라즈마 밀도를 측정할 때 기존 랭뮤어 프로브가 측정 대상에 영향을 주는 한계를 줄이고, 플라즈마 전체 특성을 더 직접적으로 파악하려는 연구임.
연구 목표는 전류 측정 중심 진단의 간접성 한계를 벗어나 플라즈마 전체 밀도와 함수 관계를 갖는 물리량을 직접 측정하는 것임. 이를 위해 1차원 플라즈마 simulation code를 Poisson equation, energy equation, continuity equation 기반으로 개발하고, 진공 챔버 설계와 압전소자 CVD 전극 증착 조건을 수립하며, 기본 및 Frequency 가변 전원 회로를 제작해 압전소자 전압 변화를 통해 최적 전극 구조·전극 간격을 제시하고 밀도-압력 모델을 제시함. 기대효과는 바이오·의료 플라즈마 응용의 정밀 진단 기술과 압전소자 핵심기술 확보 및 기술이전, 인력양성, 경제 활성화에 기여함.