반도체 식각공정 불화수소 가스 제거용 비표면적 2000m2g 이상의 석유계 잔사유 및 폐PET 기반 피치계 첨착 활성탄 개발

본 과제는 반도체 식각 공정에서 발생하는 유해 가스인 불화수소(HF)를 효과적으로 제거하기 위해, 석유계 잔사유와 폐PET를 활용하여 비표면적 2000m2/g 이상의 고성능 피치계 첨착 활성탄을 개발하는 연구임. 연구 목표는 폐PET/석유계 잔사유 기반 피치 제조 기술 및 활성탄 대량생산 공정을 개발하여 HF 제거 효율이 높은 첨착 활성탄의 성능과 안정성을 확보하는 데 있음. 핵심 연구 내용은 폐PET/석유계 잔사유 블렌딩 및 고압 공정을 통한 피치 물성 제어 기술 개발과 피치 활성탄의 대량생산 공정 및 수율 향상 연구임. 첨착 활성탄의 종합 특성 DB 구축 및 다양한 반응 메커니즘, 표면 작용기 도입을 통한 HF 제거율 향상 및 안정성 기술 개발도 포함됨. 또한, 활성탄 미세기공 조절 및 비표면적 손실 방지 연구를 수행하며, HF 제거용 케미컬 필터 제작을 목표로 함. 기대 효과는 고품질 피치 및 활성탄 대량생산, HF 제거율 및 제품 성능 향상을 통해 국내 반도체 산업의 경쟁력 강화에 크게 기여할 것으로 전망됨.