프로젝트 소개
본 과제는 반도체 제조 과정에서 발생하는 PFCs 등 복합 유해가스를 안전하게 분해·처리하면서 전력 사용량을 줄이는 촉매·플라즈마 결합형 방전 모듈을 개발하는 연구임. 플라즈마 토치의 폐열과 촉매를 함께 활용하여 기존 스크러버보다 효율적인 공정 폐가스 처리 기술 확보를 지향함.
연구 목표는 반도체 공정 복합 가스 처리용 40% 에너지 절감형 촉매·플라즈마 방전 모듈 개발 및 CVD/Etch 공정 적용 기반 구축임. 핵심 연구 내용은 방전 가스 직접 분해, 폐열 활용 촉매 활성화, 저 NOx·저전력 플라즈마 토치 개발임. 또한 DCTPUN 코드를 활용한 플라즈마 온도·유속·열평형 시뮬레이션, 엔탈피 탐침과 세라믹 센서를 이용한 진단, 고수분·고분진 대응 전처리 모듈 설계 및 공정가스 정밀 측정 기술 개발을 추진함. 기대 효과는 PFCs 및 유해가스 처리 효율 향상, NOx·CO2와 미세먼지 원인 물질 배출 저감, 스크러버 수명 및 반도체 생산성 향상, 전력비와 탄소배출권 비용 절감임.