광 검출기 및 이의 제조 방법

TRL 4
2024 출원, 등록 심사 중

이 특허는 빛을 받는 얇은 반도체 층을 여러 겹 쌓아, 걸어주는 전압의 방향과 세기에 따라 빛으로 생긴 전류의 방향과 크기를 바꾸는 광 검출기입니다. 하나의 소자에서 빛 신호를 더 다양하게 처리할 수 있어 이미지 센서와 광 분석 시스템의 구성 및 동작 효율 개선에 활용할 수 있는 특허입니다.

특허 개요

본 특허는 전압 조건에 따라 빛 신호의 방향과 세기를 조절하는 양방향 광 응답 광 검출기입니다. 제1 전극, 제1 전하 수송층, 광 활성층, 제2 전하 수송층, 제2 전극을 수직으로 적층하고, 평면이종접합(PHJ) 기반 P-N-P 또는 N-P-N 구조에서 전압 극성에 따라 빛으로 생성된 전하가 양측 전하 수송층 중 한쪽을 선택적으로 통과하도록 합니다. 이에 따라 광전류 방향을 전환하고 전압 크기 및 입사 조도에 따라 출력량을 조절합니다.

  • 핵심 기능

광 활성층이 빛을 흡수해 생성한 전자와 정공은 인가 전압의 극성에 따라 서로 다른 전하 수송 경로로 이동하며, 광전류의 방향이 바뀝니다. 전압 크기와 입사 조도를 조절하면 광전류 출력량을 조절할 수 있어 단일 광 검출 소자에서 가변 광 응답을 구현합니다.

  • 차별 강점

종래 포토다이오드는 주로 역방향 전압에서 한 방향의 광전류를 검출하고, 전압 크기에 따른 광전류 제어 범위가 제한적이었습니다. 본 기술은 양측 전하 수송층과 중앙 광 활성층의 적층 접합을 이용해 전하 수송 경로를 선택함으로써, 광전류 방향 전환과 출력량 가변을 함께 구현하는 점이 차별점입니다.

  • 활용 범위

기술·연구 측면에서는 머신 비전용 이미지 센서, 센서 내 이미지 후처리, 집적형 광 검출 소자, 초박형·유연 광전자 플랫폼 및 광 분석 시스템에 활용 가능합니다. 사업 측면에서는 카메라 모듈, 산업용 검사 장비, 광 계측 장비, 웨어러블 전자기기 및 유연 센서 제품으로 확장할 수 있습니다.

연구 개발 단계

TRL 1
기초 원리
TRL 2
개념 정립
TRL 3
개념 검증
TRL 4
실험실 검증
TRL 5
유사 환경
TRL 6
시제품
TRL 7
실증
TRL 8
인증완료
TRL 9
사업화
TRL4단일 P-N-P 적층 소자를 대상으로 전기·광 응답과 응답 속도를 평가해 동작 원리를 검증한 단계입니다.
현재 검증 내용

ITO/TAPC/C70/TAPC/Ag P-N-P 적층 광 검출기를 대상으로 전압-전류 특성, 입사 조도별 광 응답, 응답 속도를 평가했습니다. 서로 다른 전압 극성에서 광전류 방향이 달라지고, 전압 크기 및 입사 조도에 따라 출력량이 변화하는 특성을 확인했으며, 대면적 제조·장기 안정성·이미지 센서 집적 성능은 추가 검증이 필요합니다.

검증 환경

- 시료: ITO/TAPC/C70/TAPC/Ag P-N-P 양방향 광 검출기
- 비교 소자: ZnO/PM6:Y7/TAPC/산화몰리브덴/Ag 종래 포토다이오드

- 평가 조건: 입사 조도 21μW/cm²~1.2mW/cm², 동작 전압 -1V~1V

- 비교 광원 조건: 백색광 AM 1.5G 100mW/cm²

현재 성과

성능·효과
광전류 방향 전환 및 조도 선형 응답-1V~1V

서로 다른 전압 극성에서 서로 다른 방향의 광전류를 출력했으며, 입사 조도가 높아질수록 광전류 출력량이 선형적으로 증가했습니다. 전압 크기가 커질수록 광전류 출력량도 증가하는 특성을 확인했습니다.

검증·신뢰
광 응답 속도상승 시간 23.1ms, 하강 시간 0.3ms

ITO/TAPC/C70/TAPC/Ag P-N-P 적층 소자를 대상으로 전압-전류 특성, 조도별 광 응답 및 시간 응답을 평가했습니다. 입사 조도 1.2mW/cm²와 1V 조건에서 상승 시간과 하강 시간을 측정했으며, -1V 조건에서는 상승 시간 18.1ms 및 하강 시간 0.4ms를 확인했습니다.

차별성·독창성
전압 극성으로 선택적 전하 수송을 구현하는 적층 구조

종래 포토다이오드는 한 방향 전압에서 전류 밀도를 나타내는 반면, 본 기술은 P-N-P 또는 N-P-N 평면이종접합 적층으로 전압 극성에 따른 선택적 전하 수송을 구현합니다. 광전류의 방향 전환과 출력량 제어를 하나의 수직 적층 소자에서 구현하는 구성이 핵심 차별점입니다.

상용화까지 남은 부분

1

대면적 소자 제조 공정과 면적 확대에 따른 광 응답 균일성 검증

2

유연 플랫폼 적용 시 반복 굽힘 환경에서의 내구성 및 전기·광 특성 안정성 검증

3

장기 구동 안정성, 환경 신뢰성 및 실제 이미지 센서 집적 환경에서의 성능 실증

기술 이전 형태·도입 과정

기술양도
전용실시권
통상실시권
공동 과제 수행
기술지도·자문

도입은 이렇게 진행됩니다.

1

검토 미팅

귀사 상황·데이터 구조 기준으로 적합성을 논의합니다. 자료 검토만으로 끝나도 됩니다.

2

PoC 공동 검증

연구팀 동행 하에 귀사 데이터 기준 재학습·성능을 확인합니다.

3

라이센싱 계약

PoC 결과를 기반으로 희망 형태(실시권·공동연구 등)를 협의합니다.

4

기술지도·후속

도입 초기 기술지도, 필요 시 후속 공동연구·정부과제 연계까지 진행합니다.

특허 정보

발명의 명칭(KR)

광 검출기 및 이의 제조 방법

출원번호

10-2024-0112011 (2024.08.21)

공개번호

1020260028216 (2026.03.04)

등록번호

미등록 (심사 중)

발명자

유승협, 한상인, 박상훈

출원인

한국과학기술원

문의

담당자이준구
이메일jg.lee@rndcircle.io
연락처010-8978-6417