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(주)뉴파워프라즈마
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경기도 수원시
26
1
프로젝트 통계
2010년도부터 2023년도까지 과제 수행 이력이 존재합니다
주관 과제
36
협동 과제
2
과제 기반 특허
135
과제 기반 논문
42
R&D 예산

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기술 계약
기술이전/실기 건 수
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기술료 합계
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2
전체 R&D 프로젝트
34
과제수행연도주관/협동과제명총 연구비(원)상세정보
2023주관ALD 공정 생산성 향상을 위한 부산물처리用 高용량(기존 대비 2배 이상) 플라즈마 배기 처리 시스템 개발9억 6천만

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