수혜기업인 ㈜셀빛(대표 왕유식)의 경우 반도체 장비용 전기칠러 성능개선을 통해 에너지 절감 기술효율 15% 개선과 열교환 효율을 8% 향상시켰으며, ㈜퓨젠(대표 김주택)은 게이트 밸브 씰플레이트 개발을 통해 제품의...