우리는 펄스 역전 전류(pulse reverse current, PRC) 전기도금 공정을 사용하여 공극이 없는 고종횡비 나노구조를 갖는 금속 나노스탬프를 제작하는 기법을 연구하였다. 고종횡비 나노구조의 종래 전기도금 동안에는 전류 분포가 상부와 하부 모서리에 집중되어 니켈 전기도금 층의 비교적 빠른 성장을 유발한다. 이러한 현상은 금속 나노스탬프에서 나노공극(nanovoid)의 형성을 초래하여 스탬프 성능의 저하로 이어진다. 나노공극의 형성을 방지하기 위해 전기도금 공정 중 전류 파형을 제어하였다. 그 결과, 공정은 나노공극의 형성을 억제하면서도 전류 분포를 균일하게 하는 데 효과적으로 기여하였다. 실제 적용의 예로서, 두 종류의 금속 나노스탬프를 직류 및 PRC 전기도금 공정을 통해 제작하였다. 하나는 피치 0.8 µm, 높이 1.8 µm였고, 다른 하나는 피치 350 nm, 높이 525 nm였다. 전기도금 공정 중 발달한 내부 나노공극을 측정하고 분석하였다.

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