BEOL 회로설계 기반 3D 스케일링 배선기술 연구

BEOL Circuit-Driven 3D Scaling Wiring Technology

연구 내용

BEOL 회로설계와 전기도금, 원자층 증착 기반 공정을 결합하여 3D 스케일링 배선의 형상·신뢰성을 확보하는 연구

3D 스케일링에서는 배선의 미세 형상 재현성과 계면/벌크 신뢰성이 동시에 요구됩니다. 본 연구는 BEOL 회로설계를 출발점으로 배선 구조에 대응하는 공정 경로를 구성하고, 전기도금으로 금속 배선을 형성한 뒤 원자층 증착을 통해 계면 및 기능층을 정밀 제어합니다. 또한 신뢰성 평가를 통해 전기적 열화와 구조적 변화를 확인하고, 공정-구조-신뢰성 간 상관을 정리하여 배선 설계 제약과 공정 조건을 함께 최적화합니다.

관련 프로젝트

1건

연구 흐름

초기 단계에서는 BEOL 회로설계를 기반으로 3D 스케일링에서 요구되는 배선 구조 조건을 정량적으로 정리하고, 전기도금 공정으로 목표 형상 구현이 가능한지 확인했습니다. 이후 원자층 증착을 활용해 계면 품질과 공정 안정성을 보완하는 방향으로 공정 흐름을 구축했습니다. 중기에는 신뢰성 평가를 체계화하여 열화 양상과 결함 발생 패턴을 도출하고, 그 결과를 공정 조건 조정과 배선 설계 제약으로 환류하는 연구를 수행했습니다. 최근에는 배선 설계 변경에 따른 공정 재현성을 개선하며 3D 스케일링 배선 적용성을 높이고 있습니다.

활용 가능성

활용 가능성은 알앤디써클 특화 AI 에이전트가 생성한 내용으로, 실제 연구 가능 여부는 연구실과의 논의가 필요합니다.

3D 스케일링 배선 공정 레시피
BEOL 기반 회로 설계-공정 연동 최적화
전기도금 기반 미세 배선 형성 기술
원자층 증착 계면 기능층 설계
배선 신뢰성 평가 프로토콜
고밀도 적층 배선 구조 구현
전기적 열화 저감 공정
열·기계적 스트레스 완화 구조
공정 편차 제어 기반 생산 기술
차세대 인터커넥트 설계 가이드라인