Phase-Controlled Tin-Based 2D Semiconductors and Tin Hybrid Photoresists for Device Materials
연구 내용
2차원 반도체의 대면적 원자층 증착과 소재 상(phase) 제어를 기반으로 트랜지스터 성능을 구현하고, 주석계 유기·무기 하이브리드 기반 포토레지스트와 2D 금속 황화물의 결정 상을 제어해 소자 공정성을 확보하는 연구
본 연구는 2차원 반도체의 소자 적용을 위해, 대면적 증착에서의 균일성 확보와 소재 상 제어를 동시에 수행합니다. 2D vdW 기반 NCFET에서는 합성 단층 MoS2의 저전압 동작을 구현하되, 소스/드레인 접촉 저항이 구현 성능에 결정적임을 확인하고 접촉 금속 공정을 함께 최적화합니다. 한편 주석 기반 유기–무기 하이브리드 박막을 MLD로 형성해 포토레지스트로 활용하는 접근을 수행하며, ALD로 증착한 2D 주석 황화물에서 공정 조건과 열처리를 통해 위상 전환을 유도해 광/전자 특성에 연결합니다. 또한 광센서 응용을 위한 대면적 원자층 증착 장비 개발을 병행합니다.
관련 연구 성과
관련 논문
3편
관련 특허
0건
관련 프로젝트
3건
연구 흐름
초기에는 이차원 반도체 소재의 대면적 원자층 증착 장비와 균일도·증착속도 확보를 목표로 공정 스케일업 기반을 마련했습니다. 이후 MoS2 단층 기반 NCFET처럼 실제 소자 구조로의 전환을 통해, 저전압 동작을 좌우하는 접촉 저항 이슈를 반영한 공정 최적화로 연구 범위를 확장했습니다. 최근에는 주석계 하이브리드 박막의 포토레지스트 적용성과, 2D 주석 황화물의 결정 상 제어를 통해 소재 다양성을 확보하는 방향으로 심화하고 있으며, 이를 광센서 응용에 연계하는 연구를 수행하고 있습니다.
활용 가능성
활용 가능성은 알앤디써클 특화 AI 에이전트가 생성한 내용으로, 실제 연구 가능 여부는 연구실과의 논의가 필요합니다.
관련 논문
구분
제목
High-Performance Negative Capacitance Field-Effect Transistors with Synthetic Monolayer MoS<sub>2</sub>
Molecular layer deposition of tin-based organic–inorganic hybrid films as photoresists
Phase control of two-dimensional tin sulfide compounds deposited via atomic layer deposition
관련 프로젝트
구분
제목
이차원 반도체 소재의 8인치급 대면적 원자층 증착 장비 개발 및 광센서 응용
이차원 반도체 소재의 8인치급 대면적 원자층 증착 장비 개발 및 광센서 응용
이차원 반도체 소재의 8인치급 대면적 원자층 증착 장비 개발 및 광센서 응용