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반도체 및 나노소자 연구실

광운대학교 전자재료공학과

구상모 교수

Wide Bandgap Semiconductors

SiC Power Devices

Ga2O3 Transistors

반도체 및 나노소자 연구실

전자재료공학과 구상모

반도체 및 나노소자 연구실(SNDL)은 고에너지갭(Wide Bandgap, WBG) 반도체를 기반으로 한 차세대 전력반도체 소자 및 응용 기술을 선도적으로 연구하는 국내 최고 수준의 연구실입니다. 본 연구실은 실리콘 카바이드(SiC), 갈륨 나이트라이드(GaN), 알루미늄 나이트라이드(AlN), 갈륨 옥사이드(Ga2O3), 다이아몬드 등 다양한 WBG 소재를 활용하여, 기존 실리콘 반도체의 한계를 극복하고 고전압, 고온, 고주파 환경에서도 안정적으로 동작하는 첨단 소자 개발에 집중하고 있습니다. 연구실의 주요 연구 분야는 WBG 반도체 소재의 성장 및 특성 분석, 고효율 파워 반도체 소자(다이오드, MOSFET, 트랜지스터, 센서 등) 설계 및 제작, 소자 공정 및 계면 결함 제어, 그리고 소자-회로-시스템 통합 응용까지 폭넓게 확장되어 있습니다. 특히, 에어로졸 증착, RF 스퍼터링, 미스트 CVD 등 다양한 박막 증착 및 나노/마이크로 가공 기술을 활용하여 고품질의 박막 및 이종접합 구조를 구현하고, 이를 기반으로 한 소자의 전기적·열적 특성을 체계적으로 분석합니다. 본 연구실은 DLTS, AFM, XPS, TEM 등 첨단 분석 장비를 활용하여 소재 및 소자 내 결함의 에너지 준위, 농도, 분포 등을 정밀하게 측정하고, TCAD 시뮬레이션을 통해 결함이 소자 특성에 미치는 영향을 예측합니다. 이를 바탕으로 소자의 온저항, 항복 전압, 스위칭 특성, 장기 신뢰성 등 핵심 성능 지표를 획기적으로 개선하고 있습니다. 또한, 소재-소자-회로의 연계 연구를 통해 고에너지갭 반도체 기반의 파워 소자를 실제 전력 변환 회로에 적용하고, 시스템 수준에서의 효율 및 신뢰성 향상 방안을 모색합니다. 이러한 연구 성과는 전기차, 신재생에너지, 스마트 그리드, 산업용 전력 변환 시스템 등 다양한 첨단 산업 분야에서 요구되는 고효율·고신뢰성 전력 반도체 소자 개발에 핵심적인 역할을 하며, 미래 에너지 및 모빌리티 혁신을 선도할 수 있는 기반 기술로 자리매김하고 있습니다. 연구실은 국내외 유수의 반도체 기업 및 연구기관과의 산학협력, 국제 공동연구, 정부과제 수행 등 활발한 대외 협력 활동을 통해 연구의 실용화와 산업적 파급력을 극대화하고 있습니다. SNDL은 창의적이고 도전적인 연구 환경을 바탕으로, 반도체 분야의 세계적 전문가 양성과 첨단 기술 혁신을 목표로 하고 있습니다. 고에너지갭 반도체 및 차세대 전력반도체 기술에 열정을 가진 학생과 연구자라면 누구나 환영하며, 함께 미래 반도체 산업의 패러다임을 이끌어갈 수 있습니다.

Wide Bandgap Semiconductors
SiC Power Devices
Ga2O3 Transistors
고에너지갭(WBG) 반도체 소자 기술
고에너지갭(Wide Bandgap, WBG) 반도체 소자 기술은 기존의 실리콘 기반 반도체가 가지는 한계를 뛰어넘어, 고전압, 고온, 고주파 환경에서도 안정적으로 동작할 수 있는 차세대 반도체 기술입니다. 본 연구실에서는 실리콘 카바이드(SiC), 갈륨 나이트라이드(GaN), 알루미늄 나이트라이드(AlN), 갈륨 옥사이드(Ga2O3), 다이아몬드 등 다양한 WBG 소재를 기반으로 한 소자 개발에 집중하고 있습니다. 이러한 소재들은 넓은 밴드갭 특성으로 인해 높은 항복 전압과 낮은 온저항, 우수한 열전도도 및 내열성을 갖추고 있어, 전력 변환 효율을 극대화하고 소자의 신뢰성을 크게 향상시킬 수 있습니다. 연구실에서는 WBG 반도체의 재료 특성 분석, 소자 설계, 공정 및 측정 분석을 아우르는 통합 연구를 수행합니다. 특히, SiC와 Ga2O3를 활용한 파워 반도체 소자(다이오드, 트랜지스터, 센서 등)의 구조 최적화, 계면 결함 제어, 고온/고전압 동작 특성 개선, 그리고 신뢰성 평가에 중점을 두고 있습니다. 또한, 에어로졸 증착, RF 스퍼터링, 미스트 CVD 등 다양한 박막 증착 및 나노/마이크로 가공 기술을 활용하여 고품질의 박막 및 이종접합 구조를 구현하고, 이를 기반으로 한 소자의 전기적·열적 특성을 체계적으로 분석합니다. 이러한 연구는 전기차, 신재생에너지, 스마트 그리드, 산업용 전력 변환 시스템 등 다양한 첨단 산업 분야에서 요구되는 고효율·고신뢰성 전력 반도체 소자 개발에 핵심적인 역할을 하며, 미래 에너지 및 모빌리티 혁신을 선도할 수 있는 기반 기술로 자리매김하고 있습니다.
반도체 소재-소자-회로 통합 및 결함 제어
반도체 소자의 성능과 신뢰성은 소재의 품질, 소자 구조, 그리고 공정에서 발생하는 다양한 결함의 제어에 의해 결정됩니다. 본 연구실은 소재 개발부터 소자 설계, 회로 통합에 이르는 전 과정을 아우르는 통합적 연구를 수행하며, 특히 결함 분석 및 제어 기술에 강점을 가지고 있습니다. SiC, Ga2O3 등 WBG 소재의 에피택셜 성장, 박막 증착, 도핑 및 어닐링 공정에서 발생하는 포인트 결함, 계면 결함, 깊은 준위 트랩 등 다양한 결함의 특성을 심층적으로 분석하고, 이를 최소화하기 위한 최적의 공정 조건을 도출합니다. 결함 분석을 위해 DLTS(Deep Level Transient Spectroscopy), AFM(Atomic Force Microscopy), XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy), TEM(Transmission Electron Microscopy) 등 첨단 분석 장비를 활용하여 소재 및 소자 내 결함의 에너지 준위, 농도, 분포 등을 정밀하게 측정합니다. 또한, TCAD 시뮬레이션을 통해 결함이 소자 특성에 미치는 영향을 예측하고, 실제 소자 제작 및 측정 결과와 비교하여 최적의 소자 구조 및 공정 조건을 제시합니다. 이를 통해 소자의 온저항, 항복 전압, 스위칭 특성, 장기 신뢰성 등 핵심 성능 지표를 획기적으로 개선하고 있습니다. 더불어, 소재-소자-회로의 연계 연구를 통해 고에너지갭 반도체 기반의 파워 소자를 실제 전력 변환 회로에 적용하고, 시스템 수준에서의 효율 및 신뢰성 향상 방안을 모색합니다. 이러한 통합적 접근은 차세대 전력반도체 산업의 경쟁력 확보와 실용화에 중요한 기여를 하고 있습니다.
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Room-temperature fabrication of high breakdown field Ga2O3 films via aerosol deposition method
오종민, 이준우, 오지희, 김진애, 김우섭, 구상모, 김성훈, 김민경, 박철환, 신원호, 원강희
Ceramics International, 202503
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Effects of surface ultraviolet/ozone treatment on the electrical characteristics of Pt/Ga2O3/SiC Schottky diodes
구상모, 박세림, 이태희, 최지수, 이현우, 정승환, 김민영, 이건희, Michael?A.?Schweitz
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, 202502
3
Realization of a 2H?Si microneedle with anultrafast growth rate of 6.7 × 104 ?·s?1
구상모, 문수현, 김경화, 박선우, 전인준, 전훈수, 이재학, 양민, 신명철, 오종민, 신원호, 김민경, 이원재, 조채룡, 강예환, 안형수
Semiconductor Science and Technology, 202502
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이형진 석사과정 SiC 소자 설계, 분석 연구를 위하여 국립대만대 교환 연구학생 파견
국립대만대학교
2023년 ~ 2023년 08월
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김민영 석사과정 반도체 협력 연구를 위해 워싱턴으로 파견
NIST
2023년 02월 ~ 1970년
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온세미 코리아 광운대 협약 방문 및 SNDL고용연계형 산학장학생 선발
onsemi
2022년 12월 ~ 1970년